[发明专利]磨削工件表面质量光学实时检测装置

权利要求书

1.一种磨削工件表面质量光学实时检测装置，其特征在于，包括：激光器、半透镜、玻璃层、流体透镜机构、采集屏、镜头和数据采集系统，其中：半透镜、玻璃层和流体透镜机构由上而下依次设置于激光器的正下方，待测工件位于流体透镜机构内的底部，采集屏、镜头和数据采集系统依次设置于半透镜的水平一侧，数据采集系统位于镜头后并采集采集屏上的散射图像。

2.根据权利要求1所述的磨削工件表面质量光学实时检测装置，其特征是，所述的流体透镜机构包括：储水罐、水泵、流量计、喷嘴和流体状态模拟槽，其中：储水罐、水泵、流量计和喷嘴依次串联，喷嘴设置于流体状态模拟槽的下端，待测工件置于流体状态模拟槽内的底部且待测表面向上正对半透镜，水泵与供电系统相连接。

3.根据权利要求1所述的磨削工件表面质量光学实时检测装置，其特征是，所述的数据采集系统包括：拍摄成像单元和数据处理单元，其中：拍摄成像单元对采集屏上的散射图像进行拍摄后输出至数据处理单元，数据处理单元根据数字化的散射图像得出标定曲线以及粗糙度数值。

4.根据权利要求1所述的磨削工件表面质量光学实时检测装置，其特征是，所述的激光器的输出为：波长λ＝650nm，功率5mW，输出激光的直径为3mm。

5.根据权利要求1所述的磨削工件表面质量光学实时检测装置，其特征是，所述的半透镜的倾斜角度为45°，其透射反射比为50/50。

6.根据权利要求1所述的磨削工件表面质量光学实时检测装置，其特征是，所述的流体透镜机构中充有水。