[发明专利]光记录介质用半透明反射膜和反射膜、以及用于形成这些半透明反射膜和反射膜的Ag合金溅射靶

说明书

本发明申请是PCT专利申请PCT/JP2006/326210，申请日为2006年12月28日，发明名称为“光记录介质用半透明反射膜和反射膜、以及用于形成这些半透明反射膜和反射膜的Ag合金溅射靶”的发明专利申请的分案申请，母案进入中国的申请号为200680049357.2。

技术领域

本发明涉及作为光记录介质的构成层的半透明反射膜和反射膜，以及用于由溅射法形成这些半透明反射膜和反射膜的Ag合金溅射靶，所述光记录介质是可使用半导体激光等的激光束将声音、影像、文字等的信息信号进行再生或者记录·再生·消去的光记录盘(CD-RW，DVD-RW，DVD-RAM等)等。特别地，本发明适用于使用蓝色激光进行记录、再生或者消去的光记录盘(基于蓝光光盘规格、HD DVD规格的光记录盘等)的半透明反射膜和反射膜，以及用于形成这些半透明反射膜和反射膜的溅射靶。

背景技术

近年来，提出了具有2层记录膜的2层记录型的光记录介质，对于该2层记录型的光记录介质，在入射光侧设置了厚度为5～15nm左右的极薄的半透明反射膜，所述半透明反射膜除了相对于入射光侧的记录层具有作为反射膜的功能以外，还具有透射光而在第二记录层上记录或者再生的功能。作为在该2层记录型的光记录介质上形成的半透明反射膜，使用了纯Ag膜或者Ag合金膜，该纯Ag膜或者Ag合金膜具有迅速将加热了的记录膜的热量散去的作用，同时对于在400～800nm这样宽范围的波长区域的激光具有低的吸收率，因此被广泛应用。

作为光记录介质用反射膜的一个例子，已知具有含有0.001～0.1质量％的Ca、余量包含Ag的成分组成的光记录介质用反射膜，已知该反射膜通过使用Ag合金靶进行溅射而形成，所述Ag合金靶具有含有0.001～0.1质量％的Ca、余量包含Ag的组成。对于上述具有含有0.001～0.1质量％的Ca、余量包含Ag的成分组成的反射膜，其与纯Ag制的反射膜的反射率几乎相同，进而与纯Ag制的反射膜相比抑制了重结晶化，具有反射率不随时间下降的优异特性(参考专利文献1)。

另外，作为光记录介质的反射膜的其他例子，在专利文献2中记述了一种半透明反射膜，其具有下述的成分组成，即，含有0.1原子％以上的Nd或者Y中的至少一种，进而以合计0.2～5.0原子％的量含有选自Au、Cu、Pd、Mg、Ti和Ta的至少一种，余量包含Ag。记述了该半透明反射膜通过使用Ag合金靶进行溅射而形成，所述Ag合金靶具有下述的成分组成，即，含有0.1原子％以上的Nd或者Y中的至少一种，进而以合计0.2～5.0原子％的量含有选自Au、Cu、Pd、Mg、Ti和Ta的至少一种，余量包含Ag。

专利文献1：特开2003-6926号公报

专利文献2：特开2002-15464号公报

发明内容

一般地，光记录介质的半透明反射膜在吸收入射光时会产生第二记录层记录或者再生的效率变差的问题，因此对于半透明反射膜，需要降低入射光在半透明反射膜上的吸收。另一方面，出于在入射侧的第一记录层上进行高速记录的要求，半透明反射膜必须同时实现高热传导性。

作为赋予这种特性的最优选的材料，已知有纯Ag，但是对于包含纯Ag的半透明反射膜，虽然刚使用后的吸收率最低，但如果在记录或者记录/再生/消去时被加热，则由于膜产生凝聚而导致在半透明反射膜上开孔，进而由于纯Ag制的半透明反射膜的耐腐蚀性差，因此有在短时间内吸收率急剧上升的问题。

另一方面，本发明人们使用目前已知的包含Ag合金的反射膜用靶制成具有反射膜厚约1/10的、厚度为5～15nm的薄膜，并试图将该薄膜作为半透明反射膜来使用，所述Ag合金含有0.001～0.1质量％的Ca、余量包含Ag。其结果是包含Ag合金的半透明反射膜与纯Ag制的半透明反射膜相比，虽然在记录、或者记录/再生/消去时即使加热，膜也不凝聚、耐腐蚀性优异、且发现吸收率的经时变化抑制效果，但是依然入射光的吸收率很高，不能说是十分满意的，所述Ag合金含有0.001～0.1质量％的Ca、余量包含Ag。

另外，本发明人们试着使用在专利文献2中记述的半透明反射膜，该半透明反射膜具有下述的成分组成，即，含有0.1原子％以上的Nd或者Y中的至少1种、进而含有0.2～5.0原子％的Mg、余量包含Ag。其结果是该半透明反射膜与纯Ag制的半透明反射膜相比，虽然在记录、或者记录/再生/消去时即使加热，膜也不凝聚、耐腐蚀性优异，且一定程度地发现吸收率的经时变化抑制效果，但是该效果不充分，进而要求更大的入射光吸收率经时变化的抑制效果。