[发明专利]一种锂离子电池用负极材料氧氮化铬薄膜及其制备方法无效
| 申请号: | 201010279114.6 | 申请日: | 2010-09-13 |
| 公开(公告)号: | CN101924214A | 公开(公告)日: | 2010-12-22 |
| 发明(设计)人: | 周永宁;傅正文 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
| 主分类号: | H01M4/58 | 分类号: | H01M4/58;H01M4/136;H01M4/1397 |
| 代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人: | 陆飞;盛志范 |
| 地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 锂离子电池 负极 材料 氮化 薄膜 及其 制备 方法 | ||
1.一种锂离子电池用负极材料,其特征在于为氧氮化铬CrxON(1<x<2)纳米薄膜,组成薄膜的颗粒粒径为50 nm -100 nm,厚度为100-500nm 。
2.一种如权利要求1所述的锂离子电池用的负极材料的制备方法,其特征在于具体步骤为:用金属Cr作为靶材,采用直流反应溅射法在N2气氛中沉积得到CrN;其中,靶材和基片距离为5~8 cm,溅射功率为40 W~60 W,溅射时保持气压在10-1~1 Pa,沉积时间为10 min~40 min;然后将沉积好的CrN样品置入管式炉中,加热到450℃--650℃,退火5min~30 min,即得到氧氮化铬纳米薄膜。
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