[发明专利]具有温度监控功能的微加热器

权利要求书

1.一种具有温度监控功能的微加热器，其特征在于，包括：

一芯片；

一加热片，其设置于该芯片上，该加热片外缘形成有两导通端；

一第一加热焊垫与一第二加热焊垫，其设置于该加热片外的该芯片上，该第一加热焊垫与该第二加热焊垫分别电性连接于该加热片的该两导通端；

一测温电阻，其一端连接于该第一加热焊垫；以及

一辐射放射层，其设置于该芯片上且覆盖该加热片。

2.如权利要求1所述的具有温度监控功能的微加热器，其特征在于，该第一加热焊垫与该第二加热焊垫对向地设置于该加热片外侧，该第一加热焊垫与该第二加热焊垫之间形成两通道。

3.如权利要求1所述的具有温度监控功能的微加热器，其特征在于，该加热片外缘形成有一突缘，该第一加热焊垫具有一测温焊垫，该测温焊垫连接于该测温电阻的另一端，该测温焊垫平行地间隔设置于该突缘外侧。

4.如权利要求1所述的具有温度监控功能的微加热器，其特征在于，该加热片两端缘向内交错地凹设数个缺口，使该加热片形成数条相连接的路径，相连接的该些路径的最前端与最末端分别连接于该两导通端。

5.如权利要求4所述的具有温度监控功能的微加热器，其特征在于，该些路径各形成有一缝隙，该些路径分别经由该些缝隙以形成两子路径。

6.如权利要求1所述的具有温度监控功能的微加热器，其特征在于，该测温电阻为交指形测温电阻。

7.如权利要求1所述的具有温度监控功能的微加热器，其特征在于，该加热片的材质为铂或多晶硅，该测温电阻的材质为钽、氮化钽或镍铬合金。

8.一种具有温度监控功能的微加热器，其特征在于，包括：

一芯片；

一加热片，其设置于该芯片上，该加热片外缘形成有两导通端；

一第一加热焊垫与一第二加热焊垫，其设置于该加热片外的该芯片上，该第一加热焊垫与该第二加热焊垫分别电性连接于该加热片的该两导通端；

一第一测温电阻，其一端连接于该第一加热焊垫；

一第二测温电阻，其一端连接于该第二加热焊垫，该第二测温电阻的电阻值大于该第一测温电阻的电阻值；以及

一辐射放射层，其设置于该芯片上且覆盖该加热片。

9.如权利要求8所述的具有温度监控功能的微加热器，其特征在于，该加热片外缘形成有两突缘，该第一加热焊垫与该第二加热焊垫各具有一测温焊垫，该两测温焊垫分别连接于该第一测温电阻的另一端以及该第二测温电阻的另一端，该两测温焊垫分别平行地间隔设置于该两突缘外侧。

10.如权利要求8所述的具有温度监控功能的微加热器，其特征在于，该加热片的材质为铂或多晶硅，该第一测温电阻的材质为钽，该第二测温电阻的材质为氮化钽，该第二测温电阻为交指形测温电阻。