[发明专利]闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。

背景技术

在太阳能电池、液晶显示器(LCD)所代表的平板显示器(FPD)等的制造过程中，对大型的玻璃基板实施蚀刻或成膜等规定的处理。作为实施该种处理的基板处理系统，公知一种具有多个处理室的多腔室型基板处理系统(例如专利文献1)。

该种多腔室型基板处理系统具有共用输送室，在该共用输送室中设有用于输送基板(被处理体)的输送装置，在该共用输送室的周围设有处理室、加载互锁(load lock)真空室等，该加载互锁真空室用于在共用输送室与大气压气氛之间交换未处理的基板和处理完毕的基板。上述共用输送室、处理室以及加载互锁真空室均为真空装置，通过利用排气机构对上述真空装置进行排气，能够使上述真空装置的内部处于规定的降压状态下。

真空装置具有气密的容器主体，在该容器主体上设有用于搬入搬出被处理体的开口部。利用闸阀开闭开口部。在利用闸阀关闭开口部时，能够气密地密封容器主体的内部，从而能够将容器主体的内部压力降压到规定的处理压力、或者在大气状态与降压状态之间改变容器主体的内部状态。闸阀的构造例就如上述专利文献1所述。

在上述专利文献1所述的闸阀中设有在液压缸的作用下升降的板状的闸基座，利用连杆转动自如地将闸基座与阀芯的两侧面连结起来，从而能够支承以及推压阀芯。采用该种使用了连杆机构的闸阀中，在连杆相对于阀芯呈倾斜的状态时，使阀芯自开口部的周围离开，在连杆相对于阀芯呈水平的状态时，阀芯被推压而与开口部的周围紧密接触。

专利文献1：日本特开平5-196150号公报

最近，随着被处理体的大型化、或同时处理多张被处理体的分批处理的推进，设置在容器主体上的、用于搬入搬出被处理体的开口部的尺寸越来越大。由于开口部的尺寸变大，所以阀芯的尺寸也变大，随之阀芯的重量呈增加的趋势。

在专利文献1所述的利用了连杆机构的闸阀中，在阀芯的重量增加时，很难利用连杆保持阀芯。另外，由于连杆是从阀芯的两侧面推压阀芯的，因此担心由于开口部的尺寸变大而使作用在阀芯的上部以及下部的推压力不足。此外，在推压方向相反侧的压力较大的状态(反压状态)下，即使连杆机构自水平状态稍微偏离，也会在阀芯与开口部的周围之间发生泄漏，从而存在容易使闸阀的气密性下降的问题。

在开口部越大、即阀芯越大时上述问题越明显。这是因为，阀芯越大，在反压状态下受到的压力越大，从而欲推回阀芯的力越强，且阀芯的挠曲量也越大。

发明内容

本发明的目的在于提供一种即使阀芯的尺寸较大、阀芯的气密性也不易下降的闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。

本发明的第1技术方案的闸阀包括：阀芯，其被推压到用于搬入搬出被处理体的开口部的周围；推压部，其沿上述开口部呈环状地设置在上述阀芯上；主滑动件，其沿与上述开口部的开口面平行的方向滑动；推压机构，其设置在上述主滑动件上，用于推压上述推压部；上述推压机构由凸轮构成，该凸轮包括用于将上述阀芯推压到上述开口部的周围的突起部和自上述突起部呈下坡状(高度自突起部降低)形成的倾斜部，上述推压机构在使上述阀芯与上述开口部正对的状态下、沿与上述开口部的开口面垂直的方向推压上述阀芯，从而将上述阀芯推压到上述开口部的周围。

本发明的第2技术方案的基板处理系统包括：处理室，其用于对被处理体实施处理，具有用于搬入搬出上述被处理体的开口部，且能够将上述被处理体置于真空状态下；加载互锁真空室，其用于交换处理前以及处理完毕的被处理体，具有用于搬入搬出上述被处理体的开口部，且能够将上述被处理体置于大气状态下以及真空状态下；输送室，其用于在上述加载互锁真空室与上述处理室之间输送上述被处理体，具有用于搬入搬出上述被处理体的开口部，且能够将上述被处理体置于真空状态下；该基板处理系统使用上述第1技术方案的闸阀作为用于开闭上述处理室、上述加载互锁真空室以及上述输送室中至少任意一个的开口部的闸阀，该开口部用于搬入搬出上述被处理体。

采用本发明，能够提供一种即使阀芯的尺寸较大、阀芯的气密性也不易下降的闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。

附图说明

图1是概略地表示使用了一实施方式的闸阀的基板处理系统的一例的俯视图。

图2是概略地表示一实施方式的闸阀的推压机构的一例的侧视图。

图3是概略地表示一实施方式的闸阀的推压机构的一例的侧视图。

图4是概略地表示一实施方式的闸阀的脱离机构的一例的侧视图。

图5是概略地表示一实施方式的闸阀的脱离机构的一例的侧视图。