[发明专利]闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统

权利要求书

1.一种闸阀，其特征在于，

该闸阀包括：

阀芯，其被推压到用于搬入搬出被处理体的开口部的周围；

推压部，其沿上述开口部呈环状地设置在上述阀芯上；

主滑动件，其沿与上述开口部的开口面平行的方向滑动；

推压机构，其设置在上述主滑动件上，用于推压上述推压部；

上述推压机构由凸轮构成，该凸轮包括用于将上述阀芯推压到上述开口部的周围的突起部以及自上述突起部呈下坡状形成的倾斜部；

上述推压机构在使上述阀芯与上述开口部正对的状态下、沿与上述开口部的开口面垂直的方向推动上述阀芯，从而将上述阀芯推压到上述开口部的周围。

2.根据权利要求1所述的闸阀，其特征在于，

该闸阀还包括副滑动件，该副滑动件用于保持上述阀芯，且配置在上述阀芯与上述主滑动件之间，沿与上述开口部的开口面平行的方向滑动；

上述副滑动件具有保持引导机构，该保持引导机构用于保持上述阀芯，并且将上述阀芯的推压方向以及上述阀芯的脱离方向规定为与上述开口部的开口面垂直的方向。

3.根据权利要求2所述的闸阀，其特征在于，

该闸阀还包括止动件，该止动件用于使上述副滑动件停止滑动；

在利用上述止动件使上述副滑动件停止滑动后，上述主滑动件进一步滑动，从而使上述推压机构的上述突起部代替上述倾斜部来推压上述阀芯。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的闸阀，其特征在于，

该闸阀还包括脱离机构，该脱离机构用于使上述阀芯自上述开口部的周围脱离；

上述脱离机构具有能够伸缩的伸缩体；

在向上述开口部的周围推压上述阀芯时，上述伸缩体收缩，在使上述阀芯自上述开口部的周围脱离时，上述伸缩体伸长而使上述阀芯自上述开口部的周围脱离。

5.根据权利要求4所述的闸阀，其特征在于，

在上述副滑动件上设有上述脱离机构；

上述脱离机构的伸缩体配置在上述副滑动件的与上述主滑动件相对的相对面和在该相对面上方所设置的凸缘部之间。

6.根据权利要求5所述的闸阀，其特征在于，

在将上述阀芯推压到上述开口部的周围时，上述凸缘部压缩上述伸缩体；

在使上述阀芯自上述开口部的周围脱离时，上述凸缘部自上述被压缩了的伸缩体受到伸长力，从而使上述阀芯自上述开口部的周围脱离。

7.根据权利要求2或3所述的闸阀，其特征在于，

上述主滑动件具有用于卡挂上述副滑动件的卡挂部；

在上述主滑动件滑动时，上述卡挂部与在上述止动件的作用下停止滑动的上述副滑动件卡挂，从而带动上述副滑动件以及上述阀芯滑动。

8.根据权利要求1～3中任一项所述的闸阀，其特征在于，

上述阀芯的被上述推压机构推压的推压部配置在上述开口部的内例。

9.根据权利要求8所述的闸阀，其特征在于，

与上述开口部的中央部分相对应地配置上述推压部。

10.根据权利要求1～3中任一项所述的闸阀，其特征在于，

在上述主滑动件的与上述阀芯相反的一侧设有用于限制上述主滑动件的弹性变形量的阻挡部。

11.一种基板处理系统，其包括：

处理室，其用于对被处理体实施处理，具有用于搬入搬出上述被处理体的开口部，且能够将上述被处理体置于真空状态下；

加载互锁真空室，其用于交换处理前以及处理完毕的被处理体，具有用于搬入搬出上述被处理体的开口部，且能够将上述被处理体置于大气状态下以及真空状态下；

输送室，其用于在上述加载互锁真空室与上述处理室之间输送上述被处理体，具有用于搬入搬出上述被处理体的开口部，且能够将上述被处理体置于真空状态下；其特征在于，

该基板处理系统使用权利要求1～10中任一项所述的闸阀作为用于开闭上述处理室、上述加载互锁真空室以及上述输送室中至少任一个的开口部的闸阀，该开口部用于搬入搬出上述被处理体。