[发明专利]一种用于薄膜太阳能电池的多层背反射镜结构

权利要求书

1.一种用于薄膜太阳能电池的多层背反射镜结构，其特征在于：包括膜(11)和周期性结构(14)；所述的膜(11)是Ag膜或Al膜；所述的周期性结构(14)，由氧化物导电膜(12)和超薄膜(13)膜组成的双层结构，和一层氧化物导电膜(17)组成；所述的双层结构可以重复1-5次。

2.根据权利要求1所述的多层背反射镜结构，其特征在于：所述的Ag膜或Al膜，厚度为200-1000nm，可用电子束蒸发、磁控溅射或真空热蒸发方法之一制备。

3.根据权利要求1所述的多层背反射镜结构，其特征在于：所述的氧化物导电膜，可选自ITO、SnO₂:F、ZnO:Al或ZnO:Ga中的一种作为原材料，厚度为100-500nm。

4.根据权利要求3所述的多层背反射镜结构，其特征在于：所述的氧化物导电膜可由电子束蒸发、磁控溅射或真空热蒸发方法之一制备。

5.根据权利要求1所述的多层背反射镜结构，其特征在于：所述的超薄Ag膜或超薄Al膜，厚度为3-20nm，可用电子束蒸发、磁控溅射或真空热蒸发方法之一制备。

6.一种制备如权利要求1所述的多层背反射镜结构的方法，其特征在于包括如下步骤：

1)制备Ag膜或Al膜：用电子束蒸发、磁控溅射或真空热蒸发方法之一，制备200-1000nm厚的Ag膜或Al膜(11)；

2)制备氧化物透明导电膜：在ITO、SnO₂:F、ZnO:Al或ZnO:Ga中选择一种材料，用电子束蒸发、磁控溅射或真空热蒸发方法之一，在步骤1)所制备的膜上，继续制备厚度为100-500nm的氧化物透明导电膜(12)；

3)制备超薄Ag膜或Al膜：用电子束蒸发、磁控溅射或真空热蒸发的方法之一，在步骤2)所制备的膜上，继续制备厚度为3-20nm的超薄Ag膜或A膜(13)；

4)周期性结构的制备：重复上述2)、3)两个步骤1-5次，最后再加一层氧化物透明导电膜(17)。