[发明专利]共享字线的分栅式闪存的擦除方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体领域的数据存储器，尤其涉及一种共享字线的分栅式闪存的擦除方法。

背景技术

闪存以其便捷，存储密度高，可靠性好等优点成为非挥发性存储器中研究的热点。从二十世纪八十年代第一个闪存产品问世以来，随着技术的发展和各类电子产品对存储的需求，闪存被广泛用于手机，笔记本，掌上电脑和U盘等移动和通讯设备中，闪存为一种非易变性存储器，其运作原理是通过改变晶体管或存储单元的临界电压来控制门极通道的开关以达到存储数据的目的，使存储在存储器中的数据不会因电源中断而消失，而闪存为电可擦除且可编程的只读存储器的一种特殊结构。如今闪存已经占据了非挥发性半导体存储器的大部分市场份额，成为发展最快的非挥发性半导体存储器。现有的闪存在迈向更高存储密度的时候，由于受到编程电压的限制，通过缩小器件尺寸来提高存储密度将会面临很大的挑战，因而研制高存储密度的闪存是闪存技术发展的重要推动力。传统的闪存在迈向更高存储密度的时候，由于受到结构的限制，实现器件的编程电压进一步减小将会面临着很大的挑战。

一般而言，闪存为分栅结构或堆叠栅结构或两种结构的组合。分栅式闪存由于其特殊的结构，相比堆叠栅闪存在编程和擦除的时候都体现出其独特的性能优势，然而，目前的现有技术中，分栅式闪存相对于堆叠栅闪存多了一个字线从而使得芯片的面积增加，请参考图1，图1是现有技术共享字线的分栅式闪存的结构示意图，从图上可以看出，该闪存包括：半导体衬底100，其上具有间隔设置的源极区域200和漏极区域300；字线400，设置于所述源极区域200和漏极区域300之间；第一存储位单元500，位于所述字线400与所述源极区域200之间；第二存储位单元600，位于所述字线400与所述漏极区域300之间，其中所述两个存储位单元500、600与所述字线400之间由隧穿氧化层700隔开，所述两个存储位单元500、600分别具有第一控制栅510、第一浮栅520和第二控制栅610、第二浮栅620，所述两个控制栅510、610具有间隔地分别设置于所述两个浮栅520、620上。所述两个控制栅510、610为多晶硅控制栅，所述两个浮栅520、620为多晶硅浮栅，所述字线400为多晶硅选择栅，所述隧穿氧化层700为氧化硅层。为了擦除第一存储位单元500和第二存储位单元600，现有技术采用的方法为：在源极区域200、漏极区域300、第一控制栅510和第二控制栅610上不施加电压，即电压为0，而在字线400上施加10V至12V的电压，在字线400和第一控制栅510、第二控制栅610之间电压差的驱使下，电子分别从位于第一控制栅510之下的第一浮栅520、位于第二控制栅610之下的第二浮栅620流向字线400，从而完成擦除的操作。为了达到擦除的效果，该擦除方法需在字线400上施加10V以上的电压，在字线400上施加较高的电压，会影响存储器中隧穿氧化层的电场强度增大，从而降低存储器的耐用度。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种擦除方法，解决共享字线的分栅式闪存在擦除过程中因字线施加电压过大而引起隧穿氧化层的电场强度增大的问题。

为了实现上述目的，本发明提出一种共享字线的分栅式闪存的擦除方法，所述闪存包括：半导体衬底，其上具有间隔设置的源极区域和漏极区域；字线，设置于所述源极区域和漏极区域之间；第一存储位单元，位于所述字线与所述源极区域之间；第二存储位单元，位于所述字线与所述漏极区域之间，其中所述两个存储位单元与所述字线之间由隧穿氧化层隔开，所述两个存储位单元分别具有第一控制栅、第一浮栅和第二控制栅、第二浮栅，所述两个控制栅具有间隔地分别设置于所述两个浮栅上；所述擦除方法包括：分别对所述字线、所述第一控制栅和所述第二控制栅施加电压，实现对所述第一存储位单元和所述第二存储单元的擦除，其中所述字线施加电压范围为7V至8V，所述第一控制栅上施加电压范围为-8V至-6V，所述第二控制栅上施加电压范围为-6V至-8V。

可选的，在所述字线、所述第一控制栅和所述第二控制栅上施加电压分别为7V、-8V和-8V。

可选的，在所述字线、所述第一控制栅和所述第二控制栅上施加电压分别为8V、-7V和-7V。

可选的，在所述字线、所述第一控制栅和所述第二控制栅上施加电压分别为7V、-7V和-7V。

可选的，在所述字线、所述第一控制栅和所述第二控制栅上施加电压分别为8V、-6V和-6V。

可选的，所述第一控制栅和所述第二控制栅为多晶硅控制栅。

可选的，所述第一浮栅和所述第二浮栅为多晶硅浮栅。