[发明专利]一种热丝张紧机构

说明书

技术领域

本发明属于化学气相沉积金刚石领域，特别是涉及热丝化学气相沉积金刚石设备中的一种热丝张紧机构。

背景技术

利用热丝化学气相沉积方法制备金刚石膜(厚膜或涂层)时(即CVD金刚石)，必须要用到加热丝(钽丝或钨丝)。在使用时，热丝要由一个机构进行固定，同时要求在真空炉中加热这个热丝时，热丝必须要能够保持平直、绷紧，这对金刚石的生产至关重要。

中国专利ZL200720086710.6公开了一种热丝恒张力悬挂装置。它包括第一电极、第二电极、钩状电极引线、活塞式可移动电极组件、金属导线、导电金属杆、陶瓷绝缘体、滑轮组、第一电极金属引线、砝码、第一电极支撑架、滑轮组支撑架、第二点击金属引线、第二电极支撑架，第二电极的圆管通孔内设有活塞式可移动电极组件，第二牵引线的的左端与陶瓷绝缘体固定连接，第二牵引线的右端经过滑轮组后于砝码固定连接。但是上述专利存在以下的问题：1、结构复杂；2、利用砝码悬挂来牵引热丝，砝码只有固定的重量规格，会使对热丝的调节不到位。

发明内容

本发明的目的是要克服现有技术中的缺点，提供一种结构简单、安装方便并且使用效果好的热丝张紧机构。它能够使得在利用热丝化学气相沉积方法制备金刚石膜的过程中始终使热丝保持平直、绷紧的状态。

本发明一种热丝张紧机构，所述热丝张紧机构包括第一横梁、第二横梁、支撑条、横条、固定电极、活动电极、活动螺钉及弹簧；所述第一横梁与第二横梁平行相对；所述固定电极一端带钩并固定在第一横梁上；所述活动电极两端带钩，通过活动螺钉安装在第二横梁上；所述支撑条有两根，一端都固定在第二横梁上，另一端都与横条固定，形成固定架；所述弹簧一端连接在活动电极上，另一端固定在横条上。

进一步的，上述技术方案中，所述第一横梁、第二横梁采用钨杆或钼杆。

进一步的，上述技术方案中，所述支撑条材质为耐高温可加工绝缘陶瓷。

进一步的，上述技术方案中，所述横条材质为钼或不锈钢。

进一步的，上述技术方案中，所述固定电极及活动电极的材料为：钽或钼。

进一步的，上述技术方案中，所述活动螺钉材料为钨或钼。

进一步的，上述技术方案中，所述活动电极中心开有长方形孔或槽，所述活动螺钉通过长方形孔或槽安装。

本发明一种热丝张紧机构，其作用是在金刚石制备过程中，随着电流增加，加热丝由于被加热而拉长变形，但其变形量随即被弹簧所吸收，即可使加热丝一直处于平直状态。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，具体阐述本发明的技术方案。

本发明的热丝张紧机构包括第一横梁1、第二横梁2、支撑条3、横条4、固定电极5、活动电极6、活动螺钉7及弹簧8；第一横梁1与第二横梁2采用钨杆或钼杆材质，呈平行相对设置；固定电极5一端带钩并固定在第一横梁上；活动电极两端带钩，用钨或钼材料的活动螺钉7将其安装在第二横梁2上，活动螺钉7拧紧时将其固定，松开时则其可作左右的横向位移，使得在弹簧的拉力下能及时拉起因加热变长的热丝而不下垂；支撑条3有两根，一端都固定在第二横梁2上，另一端都与横条4固定，第二横梁2、支撑条、横条形成稳定的固定架结构；弹簧8一端连接在活动电极的钩上，另一端固定在横条4上；上述支撑条材质为耐高温可加工绝缘陶瓷；横条材质为钼或不锈钢；固定电极及活动电极的材料为：钽或钼。

所述活动电极中心开有长方形孔或槽9，所述活动螺钉通过长方形孔或槽安装，使活动电极能在热丝被加热前绕丝时向左(弹簧收缩的反方向)有一个位移，并且能够被活动螺钉固定在第二横梁2上，丝架安装好后，活动螺钉要松开，依靠热丝的拉力保持位移，在热丝被加热后，热丝变长，变形量随时被弹簧吸收。

本发明在具体使用时，按如下方法：

1、在炉外，按图所示布置加热丝，使加热丝绕在固定电极与活动电极的钩上，并且使活动电极的右端紧靠第二横梁中心孔，拧紧活动螺钉。此时的加热丝应绷紧，不得有垂落、弯曲。

2、整个机构放入加热炉后，与炉内电极柱连接好，松开活动螺钉。随着电流增大，热丝被加热变长，在弹簧作用下，活动电极向右横向位移，热丝的变形量随即被弹簧所吸收，可使加热丝一直处于平直状态。