[发明专利]涂敷装置以及涂敷方法

说明书

技术领域

本发明涉及涂敷装置以及涂敷方法，特别涉及适合对连续行进的web(带状可挠性支撑体)涂敷各种液状组成物，形成长条且宽幅的涂敷膜面的涂敷装置以及涂敷方法。

背景技术

以往，在相片感光材料或磁记录介质等领域中，采用在连续行进的带状可挠性支撑体(以下称作“web”)上涂敷规定的涂敷液、形成涂敷膜的涂敷工序。近年来，在这些领域中，要求能够得到涂敷膜的厚度精度高、且表面平滑涂敷不均少的涂敷膜的涂敷技术。

同样，在光学补偿膜、防止反射膜、防眩性膜等具有各种功能的光学膜的制造中所应用的涂敷工序中，也要求上述的涂敷技术。

以往，作为对web的面涂敷涂敷液的涂敷装置，例如有辊涂机型、凹版印刷涂敷型、辊涂加刮刀型、反向辊涂机型、挤压型、滑动涂敷型等，目前的状况是根据用途而分开使用。

在这些任意一种的涂敷装置中，为了得到膜的厚度精度高、且表面平滑无涂敷不均的涂敷膜，重要的是除去涂敷时的振动。因此，一般是在基准面(通常是建筑物的1层)设置独立的大规模的地基，在其上设置涂敷装置。由此，抑制了地基自身的振动，防止对涂敷膜的不良影响。

可是，该方法存在下述的不良情况，即涂敷装置向基准面的设置是有原则的，不仅需要花费大量的设置费用，而且在设计上以及布局(layout)上也受到制约。

作为解决这样的问题点的方案，提出了在反向辊涂敷装置中设置用于抑制web振动的减振部(参照专利文献1)。另外，提出了一种当对圆筒状的基材进行涂敷时，在防振台上设置一个以上的驱动系统的方案(参照专利文献2)。

专利文献1：特开2002-239432号公报

专利文献2：特开平9-206660号公报

但是，即使采用上述以往所公知的各种方法，为了得到膜的厚度精度高、且表面平滑无涂敷不均的涂敷膜，无论是在设备方面，还是在条件设定等方面也都难以得到最佳的范围，因此，要求对其进行改善。

而且，在以往的情况下，不清楚为了得到膜的厚度精度高、且表面平滑无涂敷不均的涂敷膜，应该将涂敷装置的什么参数控制在最佳范围还不详细，主要基于经验和直觉来进行管理，处于无法把握最佳头绪的状态。

并且，涂敷液多使用易燃性的溶剂，无法消除安全层面的隐患。

发明内容

本发明鉴于这样的情况而提出，其目的在于，提供一种在一边利用涂敷液供给机构供给涂敷液，一边在被连续搬送到与该涂敷液供给机构隔开规定间隔的位置的带状可挠性支撑体上形成规定膜厚的涂敷膜的技术领域中，能够得到不需要大量的设置费用、设计上以及布局上的制约少、膜的厚度精度高且表面平滑无涂敷不均的涂敷膜的涂敷装置以及涂敷方法。

为了达到上述目的，本发明提供一种涂敷装置，由供给涂敷液的涂敷液供给机构、和涂敷机构构成，所述涂敷机构在利用所述涂敷液供给机构提供涂敷液的同时，在被连续搬送到与所述涂敷液供给机构隔开规定间隔的位置的带状支撑体上形成规定膜厚的涂敷膜，所述涂敷机构被固定在有源除振装置上，在有源除振装置的底座上通过空气促动器支撑有负载承受部，在该负载承受部上固定有能够检测出加速度的加速度传感器，而且，在底座与负载承受部之间设置有能够测定负载承受部的变位的变位传感器，并且，在底座上还固定有能够检测出加速度的加速度传感器。

根据本发明，由于涂敷机构被固定在有源除振装置上，所以，能够抑制各种的振动，难以对涂敷膜造成不良影响。结果，可以容易地得到膜的厚度精度高、且表面平滑、涂敷不均少的涂敷膜。而且，在设置上不需要大量费用，设计上以及布局上的制约也少。即，不一定需要将涂敷装置设置在基准面，例如也能够设置在4层。

另外，有源除振装置也称作active除振装置，与通常的使用了层叠橡胶、空气弹簧等的除振装置(所谓的无源除振装置)不同，其是一种使用空气促动器等通过反馈控制以有源的方式进行除振的装置。作为市场上贩卖的产品，例如可以使用特许机器株式会社制造的装置，商品名：有源微振动控制装置。

而且，作为被涂敷物体的带状支撑体通常大多采用带状的可挠性支撑体(web)，但是，即便是带状的板状体例如玻璃基板、硅晶片等，也可以用于本发明，能够得到同样的效果。

在本发明中，优选所述有源除振装置是反馈控制由传感器所检测的振动成分，使空气促动器动作，以有源的方式进行除振的装置。只要是这样构成的有源除振装置，就能够抑制各种的振动，难以对涂敷膜造成不良影响。

而且，在本发明中，优选所述有源除振装置形成防爆构造。如果这样的除振装置具备防爆规格，则在安全层面上也很出色。