[发明专利]涂敷装置以及涂敷方法有效
申请号: | 201010156453.5 | 申请日: | 2005-04-26 |
公开(公告)号: | CN101811111A | 公开(公告)日: | 2010-08-25 |
发明(设计)人: | 柴田一朗 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05C11/02;B05D1/26 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 朱丹 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 以及 方法 | ||
1.一种带有涂敷膜的带状支撑体的制造方法,其中,包括:
连续地输送带状支撑体的工序;
利用涂敷液供给机构提供涂敷液,同时利用涂敷机构在被连续搬送到与所述涂敷液供给机构隔开规定间隔的位置的带状支撑体上形成规定膜厚的涂敷膜的工序,
所述涂敷机构被固定在有源除振装置上,在有源除振装置的底座上通过空气促动器支撑有负载承受部,在该负载承受部上固定有能够检测出加速度的加速度传感器,而且,在底座与负载承受部之间设置有能够测定负载承受部的变位的变位传感器,并且,在底座上还固定有能够检测出加速度的加速度传感器,
所述涂敷机构的一次固有频率为80Hz以上。
2.根据权利要求1所述的带有涂敷膜的带状支撑体的制造方法,其中,
所述有源除振装置是反馈控制由传感器所检测的振动成分、使空气促动器动作、以有源的方式进行除振的装置。
3.根据权利要求1或2所述的带有涂敷膜的带状支撑体的制造方法,其中,
所述有源除振装置构成为防爆构造。
4.根据权利要求1所述的带有涂敷膜的带状支撑体的制造方法,其中,
所述涂敷机构的振动加速度为0.2Gal以下。
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