[发明专利]透射电镜微栅

说明书

技术领域

本发明涉及一种透射电镜微栅，尤其涉及一种基于碳纳米管结构的透射电镜微栅。

背景技术

在透射电子显微镜中，微栅是用于承载粉末样品，进行透射电子显微镜高分辨像(HRTEM)观察的重要工具。现有技术中，透射电子显微镜的微栅通常是在铜网或镍网等金属网格上覆盖一层多孔有机膜，再蒸镀一层非晶碳膜制成的。然而，在实际应用中，当采用上述微栅对被测样品的透射电镜高分辨像进行成份分析时，尤其在观察尺寸比较小的纳米颗粒，如小于5纳米的颗粒的透射电镜高分辨像时，微栅中的非晶碳膜对纳米颗粒的透射电镜高分辨像的干扰比较大。

自九十年代初以来，以碳纳米管(请参见Helical microtubules of graphiticcarbon，Nature，Sumio Iijima，vol 354，p56(1991))为代表的纳米材料以其独特的结构和性质引起了人们极大的关注。将碳纳米管应用于微栅的制作，有利于降低非晶碳膜对被测样品成份分析的干扰。然而，由于碳纳米管的质量比较轻，在应用于微栅时容易发生飘移，从而影响了透射电镜的分辨率以及测量的准确性。

发明内容

有鉴于此，确有必要提供一种能够防止碳纳米管结构飘移的透射电镜微栅，以提高透射电镜的分辨率及测量的准确性。

一种透射电镜微栅，包括：一载体，该载体具有一第一通孔；一碳纳米管支撑体设置于该载体的表面，并覆盖该载体的第一通孔；以及一固定体，该固定体具有一第二通孔，所述碳纳米管支撑体设置于所述载体及固定体之间。

与现有技术相比较，本发明提供的透射电镜微栅通过将所述碳纳米管结构设置于所述载体及固定体之间，可以防止在使用所述透射电镜微栅过程中，夹持该透射电镜微栅的器具与所述碳纳米管结构直接接触，而由于碳纳米管结构的质量较轻引起该碳纳米管结构的飘移，以消除微栅在使用过程中碳纳米管结构容易飘移的现象，从而提高透射电镜的分辨率及准确性。

附图说明

图1是本发明第一实施例提供透射电镜微栅的立体分解图。

图2是本发明第一实施例提供透射电镜微栅的立体图。

图3是本发明第二实施例提供透射电镜微栅的立体分解图。

图4是本发明第二实施例提供透射电镜微栅的立体图。

图5是本发明第三实施例提供透射电镜微栅的立体分解图。

图6是本发明第三实施例提供透射电镜微栅的立体图。

图7是本发明第四实施例提供透射电镜微栅的立体分解图。

图8是本发明第四实施例提供透射电镜微栅的立体图。

图9是本发明第五实施例提供透射电镜微栅的立体分解图。

图10是本发明第五实施例提供透射电镜微栅的立体图。

图11是本发明第五实施例的透射电镜微栅的制备流程图。

图12是本发明第六实施例提供透射电镜微栅中的载体及固定体的立体图。

图13是本发明第六实施例的透射电镜微栅的剖面图。

图14是本发明第六实施例的透射电镜微栅的制备流程图。

主要元件符号说明

透射电镜微栅    10；20；30；40；50；60

载体            110；210；310；410；510；610

第一圆片状本体  111；211；311；511；611

第一圆环        112；212；312；412；512；612

第一网状结构    114；314；514；614

第一通孔        116；216；316；416；516；616

狭缝            118；218；318；418；518

碳纳米管支撑体  120；220；320；420；520；620

固定体           130；230；330；430；530；630

第二圆片状本体   131；231；431；531；631

第二圆环         132；232；332；432；532；632

第二网状结构     134；534；634

第二通孔         136；236；336；436；536；636

卡扣             138；238；338；438；538

第三通孔         150

第一条状结构     214

第二条状结构     234

第三通孔         250

折叠部           550