[发明专利]固态成像装置、固态成像装置的制造方法和电子设备

权利要求书

1.一种固态成像装置，包括：

多个单位像素，所述单位像素包括：

光电转换部分，把入射光转换成电信号，以及

波导，在内面具有二次曲线面并把所述入射光引导到所述光电转换部分。

2.权利要求1所述的固态成像装置，其中所述二次曲线面是抛物面。

3.权利要求1所述的固态成像装置，其中所述二次曲线面是椭圆面。

4.权利要求3所述的固态成像装置，

其中所述单位像素包括接收所述入射光的微透镜，以及

所述微透镜把所述入射光会聚到所述椭圆面的一个焦点。

5.权利要求4所述的固态成像装置，其中所述微透镜的中心被设置为相对于所述光电转换部分的孔径中心有偏移。

6.权利要求2或3所述的固态成像装置，

其中所述单位像素包括滤色片，以及

在光轴方向上所述抛物面的焦点的位置、或所述椭圆面的另一焦点的位置根据所述滤色片的颜色而不同。

7.权利要求2或3所述的固态成像装置，

其中所述单位像素包括滤色片，以及

被会聚到所述抛物面的焦点或所述椭圆面的另一焦点的光的光斑尺寸根据所述滤色片的颜色而不同。

8.一种具有多个单位像素的固态成像装置的制造方法，所述单位像素包括：光电转换部分，把入射光转换成电信号；以及波导，在内面具有二次曲线面并把所述入射光引导到所述光电转换部分，该方法包括步骤：

分多个阶段反复执行如下处理，在逐渐增加光刻胶的孔穴尺寸的同时对在其中形成波导的绝缘层进行蚀刻处理，以在所述绝缘层中形成所述波导的孔穴。

9.权利要求8所述的固态成像装置的制造方法，

其中蚀刻气体的强度在多个阶段的蚀刻工艺中被改变。

10.一种电子设备，包括：

具有多个单位像素的固态成像装置，所述单位像素包括：

光电转换部分，把入射光转换成电信号，以及

波导，在内面具有二次曲线面并把所述入射光引导到所述光电转换部分。