[发明专利]工件台的垂向控制方法及其控制回路

权利要求书

1.一种工件台的垂向控制方法，根据调焦调平传感器模块和线性可调差分传感器模块的测量值经由驱动装置对所述工件台进行垂向控制，其特征在于，在对所述工件台上的硅片进行曝光时，根据所述线性可调差分传感器模块的测量值来对所述工件台进行垂向控制，所述根据所述线性可调差分传感器模块的测量值来对所述工件台进行垂向控制包括如下步骤：

(a)将所述调焦调平传感器模块的测量值作为分量与所述硅片处于最佳焦平面时测得的FLS值与LVDT值设为设定值；

(b)将所述线性可调差分传感器模块的测量值作为反馈值；

(c)根据所述设定值与所述反馈值之间的差，对所述工件台进行垂向控制。

2.如权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述设定值为所述调焦调平传感器模块的测量值减去所述硅片处于最佳焦平面时测得的FLS值后，与所述硅片处于最佳焦平面时测得的LVDT值相加得到的值。

3.如权利要求2所述的控制方法，所述调焦调平传感器模块的测量值在经过低通滤波后设为所述设定值。

4.如权利要求3所述的方法，还包括将所述调焦调平传感器模块的测量值分别经过一次微分和二次微分后作为前馈输入。

5.一种工件台的垂向控制回路，包括调焦调平传感器模块、线性可调差分传感器模块、驱动模块、以及控制器，所述控制器根据所述调焦调平传感器模块和线性可调差分传感器模块的测量值经由驱动模块对所述工件台进行垂向控制，其特征在于，在对所述工件台上的硅片进行曝光时，所述控制器根据所述线性可调差分传感器模块的测量值来对所述工件台进行垂向控制，其中，所述调焦调平传感器模块和线性可调差分传感器模块的测量值输入所述控制器，并且所述控制器将所述调焦调平传感器模块的测量值作为分量与所述硅片处于最佳焦平面时测得的FLS值与LVDT值设为设定值；所述线性可调差分传感器模块的测量值作为反馈值送入所述控制器；所述控制器根据所述设定值与所述反馈值之间的差，对所述工件台进行垂向控制。

6.如权利要求5所述的控制回路，其特征在于，所述控制器将所述调焦调平传感器模块的测量值减去所述硅片处于最佳焦平面时测得的FLS值后，与所述硅片处于最佳焦平面时测得的LVDT值相加得到的值设为所述设定值。

7.如权利要求6所述的控制回路，其特征在于，所述调焦调平传感器模块与所述控制器之间设有低通滤波器，以使所述调焦调平传感器模块的测量值在经过低通滤波后输入所述控制器。

8.如权利要求7所述的控制回路，其特征在于，所述调焦调平传感器模块与所述控制器之间还设有前馈控制器，以将所述FLS的实时测量值分别经过一次微分和二次微分后作为前馈输入到所述控制器中。

9.如权利要求8所述的控制回路，所述前馈控制器包括滤波器、前馈增益、微分器。