[发明专利]加速度传感器和用于运行加速度传感器的方法

权利要求书

1.加速度传感器，包括：

壳体(58)；和

第一感振质量(50，80)，它构造为不对称的第一摆杆并且通过至少一个第一弹簧(54)这样地设置在所述壳体(58)中，使得所述第一感振质量(50，80)能相对于所述壳体(58)围绕所述第一弹簧(54)的扭转轴线(60)调节；

其特征在于，

第二感振质量(52，82)，它构造为不对称的第二摆杆并且通过至少一个第二弹簧(54)这样地设置在所述壳体(58)中，使得所述第二感振质量(52，82)能相对于所述壳体(58)围绕所述第二弹簧(54)的扭转轴线(60)调节；和

传感器和分析装置(66a，66b，68a，68b，92a，92b，94a，94b)，它被设计用于求得关于所述第一感振质量(50，80)和所述第二感振质量(52，82)相对于所述壳体(58)的相应的旋转运动的信息以及在考虑所求得的信息的条件下确定关于所述加速度传感器的加速度(69)的加速度信息。

2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其中，所述第一弹簧(54)的扭转轴线(60)将所述第一感振质量(50，80)分成在所述第一弹簧(54)的扭转轴线(60)的第一侧的第一分质量(50a，80a)和在所述第一弹簧(54)的扭转轴线(60)的第二侧的第二分质量(50b，80b)，所述第二分质量比所述第一分质量(50a，80a)轻，并且所述第二弹簧(54)的扭转轴线(60)将所述第二感振质量(52，82)分成在所述第二弹簧(54)的扭转轴线(60)的第一侧的第三分质量(52a，82a)和在所述第二弹簧(54)的扭转轴线(60)的第二侧的第四分质量(52b，82b)，所述第四分质量比所述第三分质量(52a，82a)重。

3.根据权利要求1或2所述的加速度传感器，其中，所述第一感振质量(50，80)包括设置在所述第一弹簧(54)的扭转轴线(60)的第一侧的第一电极和设置在所述第一弹簧(54)的扭转轴线(60)的第二侧的第二电极，所述第二感振质量(52，82)包括设置在所述第二弹簧(54)的扭转轴线(60)的第一侧的第三电极和设置在所述第二弹簧(54)的扭转轴线(60)的第二侧的第四电极，并且所述传感器和分析装置(66a，66b，68a，68b，92a，92b，94a，94b)包括四个相对于所述壳体(58)固定地设置的配对电极(66a，66b，68a，68b，92a，92b，94a，94b)。

4.根据权利要求3所述的加速度传感器，其中，所述传感器和分析装置(66a，66b，68a，68b，92a，92b，94a，94b)这样地构成，使得在所述第一电极与所述四个配对电极(66a，66b，68a，68b，92a，92b，94a，94b)中的所属的第一配对电极(66a，92a)之间的第一电容(C1A)和在所述第四电极与所述四个配对电极(66a，66b，68a，68b，92a，92b，94a，94b)中的所属的第四配对电极(68b，94b)之间的第四电容(C2B)为了形成第一和而相互接线，并且在所述第二电极与所述四个配对电极(66a，66b，68a，68b，92a，92b，94a，94b)中的所属的第二配对电极(66b，92b)之间的第二电容(C1B)和在所述第三电极与所述四个配对电极(66a，66b，68a，68b，92a，92b，94a，94b)中的所属的第三配对电极(68a，94a)之间的第三电容(C2A)为了形成第二和而相互接线。

5.根据权利要求4所述的加速度传感器，其中，所述传感器和分析装置(66a，66b，68a，68b，92a，92b，94a，94b)附加地被构造用于求得在所述第一和与所述第二和之间的差以及根据所求得的差确定关于所述加速度传感器的加速度(69)的加速度信息。

6.根据以上权利要求之一所述的加速度传感器，其中，所述第一弹簧(54)的扭转轴线(60)位于所述第二弹簧(54)的扭转轴线(60)上。

7.根据以上权利要求之一所述的加速度传感器，其中，所述第一感振质量(50，80)和所述第二感振质量(52，82)被这样地构造并且在至少一个位置中这样地相对彼此设置，使得所述第一感振质量(50，80)的至少一个从所述第一弹簧(54)的扭转轴线(60)指离的端部区段(62，84)伸入到至少一个被所述第二感振质量(52，82)撑开的中间空间(64，86)中。