[发明专利]用于促进硅电极抛光的盘和适配器组件

权利要求书

1.一种用抛光转盘和双功能电极盘抛光硅电极的方法，其中：

所述抛光转盘配置为关于旋转抛光轴旋转；

所述双功能电极盘包括盘心且固定于所述抛光转盘以使所述盘心与所述旋转抛光轴近似对准；

所述双功能电极盘进一步包括多个轴向屈从电极固定件，所述轴向屈从电极固定件设置为伸出于所述双功能电极盘的电极接合面且与成形于所述硅电极的盘接合面的轴向屈从固定件插座的各位置互补；

所述轴向屈从电极固定件和所述轴向屈从固定件插座配置为允许所述电极盘的所述电极接合面和所述硅电极的盘接合面在平行于所述旋转抛光轴的单一方向上无破损地接合和解离；

所述双功能电极盘进一步包括位于所述轴向屈从电极固定件径向向内的盘适配器拱座；

所述盘适配器拱座配置为使盘适配器的盘适配器中心与所述旋转抛光轴近似对准；且

所述硅电极通过以下方式抛光：

经由电极固定件和固定件插座接合所述电极盘的所述电极接合面和所述硅电极的所述盘接合面，

利用所述抛光转盘对已接合的所述硅电极施加旋转运动，且

当所述硅电极关于所述旋转抛光轴旋转时，将所述硅电极的暴露表面与抛光表面接触。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述电极盘包括多个延伸穿过所述电极盘的外部圆周部分的流体出口通道。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述流体出口通道额外地延伸穿过所述电极接合面和所述盘适配器拱座。

4.如权利要求2所述的方法，其中所述流体出口通道成直线地从所述电极盘的所述盘心延伸穿过所述电极盘的所述外部圆周部分。

5.如权利要求1所述的方法，其中所述双功能电极盘用固定器件固定于所述抛光转盘，所述固定器件延伸穿过所述电极盘的至少一部分厚度以与所述抛光转盘螺纹接合。

6.如权利要求1所述的方法，其中各所述轴向屈从电极固定件包括嵌入所述电极盘的厚度尺寸之内的内嵌部分和伸出于所述电极盘的所述电极接合面的无螺纹部分。

7.如权利要求6所述的方法，其中所述电极固定件的内嵌部分包括设置为在厚度尺寸内与所述电极盘的一部分接合的螺纹部分或者设置为在厚度尺寸内与所述电极盘的一部分摩擦接合的按压配合部分。

8.如权利要求6所述的方法其中：

所述电极固定件的无螺纹部分的各外径(OD)限定各自的圆柱形廓面，该圆柱形廓面与由所述固定件插座的各内径(ID)限定的圆柱形廓面近似互补；且

OD/ID的近似度足以在抛光中将所述硅电极固定于所述电极盘同时允许所述硅电极和所述电极盘无破损接合和解离。

9.如权利要求1所述的方法，其中所述轴向屈从电极固定件沿所述电极盘的通常圆周部分分布。

10.如权利要求1所述的方法，其中所述盘适配器拱座沿所述电极盘的通常圆周部分成形。

11.如权利要求10所述的方法，其中所述盘适配器拱座位于成形于所述电极盘上的适配器凹槽周围。

12.如权利要求1所述的方法，其中所述方法进一步包括通过利用所述盘适配器拱座来使所述盘适配器的中心与所述旋转抛光轴近似对准的方式和利用固定器件以将所述盘适配器固定于所述电极盘的方式抛光不相似的硅电极。

13.如权利要求12所述的方法，其中所述盘适配器包括多个额外的轴向屈从电极固定件，所述轴向屈从电极固定件被设置为伸出于盘适配器的额外的电极接合面且与成形于不相似的硅电极的盘接合面的额外的轴向屈从固定件插座的各位置互补。

14.如权利要求12所述的方法，其中所述不相似的硅电极和所述硅电极为同时地或者相继地进行抛光分别设置于所述电极盘的内圆周部分和外圆周部分。

15.如权利要求1所述的方法，其中所述盘适配器用延伸穿过所述盘适配器的至少一部分厚度以与所述电极盘螺纹安装的固定器件固定于所述电极盘。

16.如权利要求1所述的方法，其中各额外的轴向屈从电极固定件包括嵌入所述盘适配器的厚度尺寸之内的内嵌部分和伸出于所述盘适配器的电极接合面的无螺纹部分。