[实用新型]一种微型光谱仪有效
| 申请号： | 200920255548.5 | 申请日： | 2009-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN201697714U | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 龙涛;唐明;严松 | 申请（专利权）人： | 江苏惠通集团有限责任公司 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/02;G01J3/12 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 212003 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微型 光谱仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种微型光谱仪，该光谱仪由光纤连接器(1)、入射狭缝(2)、反射镜(3)、闪耀光栅(4)、聚焦镜(5)和探测器(6)组成；待测光信号由光纤连接器(1)接入光谱仪，入射狭缝(2)位于光纤连接器(1)后部，光信号经由入射狭缝(2)入射到反射镜(3)上，反射镜(3)反射光信号至闪耀光栅(4)，闪耀光栅(4)将入射光信号分解成不同波长的单色光，单色光入射到聚焦镜(5)上，由聚焦镜(5)会聚并反射到探测器(6)上，探测器(6)放置于聚焦镜(5)会聚焦点处，探测器(6)测量接受的单色光的强度；反射镜(3)作周期性运动，使得入射光信号在闪耀光栅(4)上的入射角度和各入射光信号中的单色光的空间排列位置呈周期性变化，各种波长的单色光经聚焦镜(5)会聚后，依次进入探测器(6)中，实现全光谱的扫描，其特征在于，所述反射镜(3)以硅为原材料，应用微电子机械系统技术MEMS制造而成，硅制反射镜(3)以540Hz的共振频率作周期性运动。
2.如权利要求1所述的一种微型光谱仪，其特征在于，所述反射镜(3)的镜面覆有高反射率的薄膜，薄膜的种类为金属Au或Ag或Al膜。
3.如权利要求1或2所述的一种微型光谱仪，其特征在于，所述闪耀光栅(4)的表面覆有高反射率的薄膜，薄膜的种类为金属Au或Ag或Al膜。
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