[实用新型]90°外角棱镜激光干涉测量仪

说明书

技术领域

本实用新型以激光干涉仪为基础，再配以高精度的工装，检测各类高精度90°外角棱镜的激光干涉测量仪。

背景技术

目前，高精度棱镜90°角的检测，在激光干涉仪上一般采用内测法，这种检测方法受到光学材料折射率的影响，对测角精度影响很大。

发明内容

针对以上不足，本实用新型的目的在于提供一种90°外角棱镜激光干涉测量仪，是基于激光干涉仪的光学测角方法，在原来的激光干涉测量仪中加入一组高精度的工装设备，减少各种影响测量结果的因素，得到高精确的测量结果。

本实用新型的技术方案是通过以下方式实现的：90°外角棱镜激光干涉测量仪，包括2块高精度反射镜和1块高精度平板玻璃，反射镜和平板玻璃之间互相垂直，90°待测棱镜置于平板玻璃上面，其特征在于：所述的反射镜一面为抛光面，另一面为磨砂面，抛光面与平板玻璃的两端面胶合接触。

所述的反射镜抛光面的光圈要求：0.2f，表面要求：60-40，镀膜区域需镀银反光膜：R＞＝95％。

所述的平板玻璃和反射镜胶合面需抛光，抛光面光圈要求；0.5f，平行差＜＝0.5。

本实用新型，光的折射不受到光学材料折射率的影响，测量结果准确，操作灵活，简单易行。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

由图1知，本实施例的90°外角棱镜激光干涉测量仪，由2块高精度反射镜1和一块高精度平板玻璃3，反射镜1和平板玻璃3之间互相垂直，90°待测棱镜2置于平板玻璃3上面，将反射镜1，平板玻璃3的工作面处理清洁，然后利用光学玻璃之间相互吸引的原理将两个反射镜1光胶上平板玻璃3，并保证了它们的抛光面之间的平行差＜＝0.5，将被测棱镜2置于平板玻璃3上。

激光干涉仪发出二路激光光源，分别在90°棱镜2的1个直角面产生反射，因为棱镜的工作面镀有反射膜，故光线在棱镜上发生反射，又回头入射到棱镜直角面时，再次产生反射，并入射进激光干涉仪，被接收。二路被激光干涉仪接收的光线，在系统中产生2路干涉条纹，系统软件自动进行对比，并转化成角度误差数据，显示在电脑上，从而得出所需要的结果。