[实用新型]电子式铝线键合机焊头压力测量装置无效
申请号: | 200920234811.2 | 申请日: | 2009-08-07 |
公开(公告)号: | CN201522345U | 公开(公告)日: | 2010-07-07 |
发明(设计)人: | 季达 | 申请(专利权)人: | 南通华达微电子集团有限公司 |
主分类号: | G01L5/00 | 分类号: | G01L5/00 |
代理公司: | 南通市永通专利事务所 32100 | 代理人: | 葛雷 |
地址: | 226000*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 式铝线键合机焊头 压力 测量 装置 | ||
技术领域:
本实用新型涉及一种对铝线键合机焊头压力进行校对测量的装置。
背景技术:
目前U3000系列铝线键合机的计量校对工作用以下二种方法:1、出厂用微型电子秤计量校对;2、用户用机械式克力计计量校对。这样的方法在校对速度、精度等方面存在缺陷。
发明内容:
本实用新型的目的在于提供一种结构合理,相对快、精度高的电子式铝线键合机焊头压力测量装置。
本实用新型的技术解决方案是:
一种电子式铝线键合机焊头压力测量装置,其特征是:包括底座,底座上装传动器固定架,传动器固定架上装力传感器,力传感器上设有接力块。
底座与传动器固定架通过螺钉连接。
传动器固定架与力传感器通过螺钉连接。
本实用新型结构合理,提高了U3000系列铝线键合机的计量校对工作速度,可以做到边调边看压力变化,改变了用克力计校对时调一次看一次的校对方法。提高了U3000系列铝线键合机的计量校对精度(电子式测量误差<0.5%,克力计测量误差2%)。能借助示波器观测到焊头压力变化曲线和超声功率变化曲线,进行设备间性能对比分析。
附图说明:
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
图1是本实用新型一个实施例的结构示图。
图2是本实用新型使用原理图。
具体实施方式:
一种电子式铝线键合机焊头压力测量装置,包括底座4,底座上装传动器固定架,传动器固定架上装力传感器2,力传感器上设有接力块1。底座与传动器固定架通过螺钉5连接。传动器固定架与力传感器通过螺钉6连接。
使用时直接将本实用新型电子式铝线键合机焊头压力测量装置7安装在U3000系列铝线键合机的键合轨道安装座上。
测量时键合机焊头劈刀压在接力块1上,力传感器2将焊头压力转化成电信号送信号处理器8进行处理,处理后的电信号直接送显示表头9显示压力读数或用示波器10显示压力波形(观察压力变化波形)。
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