[实用新型]电容式相对湿度传感器无效
| 申请号： | 200920233711.8 | 申请日： | 2009-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN201522471U | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 赵成龙;黄庆安;秦明 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容 相对湿度 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种电容式相对湿度传感器，其特征在于该传感器包括衬底(1)、氧化层(2)、第一电容电极(3)、第二电容电极(4)和湿度敏感介质(5)，氧化层(2)设在衬底(1)上，第一电容电极(3)、第二电容电极(4)设在氧化层(2)上，第一电容电极(3)和第二电容电极(4)由第一压焊块(33)和第二压焊块(43)分别引出，湿度敏感介质(5)设在第一电容电极(3)和第二电容电极(4)之间以及第一电容电极(3)和第二电容电极(4)上方，腐蚀衬底(1)及其上方的氧化层(2)，形成空腔(6)，使得第一电容电极(3)和第二电容电极(4)之间的湿度敏感介质(5)的下表面也与空气接触。
2.根据权利要求1所述的电容式相对湿度传感器，其特征在于第一电容电极(3)、第二电容电极(4)为叉指状电极且交错排列，每组叉指状电极的第一公共端(31)和第二公共端(41)以及叉指状电极的第一自由端(32)和第二自由端(42)均固定于氧化层(2)上，以保证第一电容电极(3)、第二电容电极(4)的机械强度。
3.根据权利要求1或2所述的电容式相对湿度传感器，其特征在于湿度敏感介质(5)为聚酰亚胺。
4.根据权利要求1或2所述的电容式相对湿度传感器，其特征在于第一电容电极(3)、第二电容电极(4)为铝电极。
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