[实用新型]一种柔性基材卷绕镀膜机的冷鼓系统

说明书

技术领域

本实用新型属于真空镀膜技术领域，特别涉及一种柔性基材镀膜机的冷鼓系统。

背景技术

近年来，随着大面柔性基材镀膜的大量应用，如汽车窗膜隔热膜、建筑玻璃贴膜(low-e膜)，扩展了大面积磁控溅射工艺的发展空间；同时在蒸发镀领域制备介质膜、电阻、电容等时，也可以使用在塑料薄膜和纸张上连续蒸镀铝膜的方式。

实现此两种镀膜工艺时，都需要使用冷鼓，其工作原理是：在镀膜机工作时，镀膜机中的冷热水机组往冷鼓通入合适温度的冷水，均匀冷却因中频孪生磁控靶等离子体放电或蒸发源蒸发镀所带来的热量对柔性基材的轰击，使紧贴匀速转动冷鼓的柔性基材不至于发生太大的热形变或不被高温破坏并保证走膜平稳不出皱折并不至于发生走偏现象；当开始下一循环前冷热水机组往冷鼓再通入合适温度的热水，使冷鼓回温到室温以上防止冷鼓结露，下一循环开始后，再次通入冷水来进行工作。

现有的冷鼓加工难度大、工序复杂，加工焊接时注意清洗及密封并须做真空检漏，并做多次动平衡处理，装配后不易维护。

实用新型内容

本实用新型的目的是：用于均匀冷却因等离子体放电或蒸发镀膜所带来热量对柔性基材的轰击，提供一种易于使用的冷鼓系统。

本实用新型是这样实现的：一种柔性基材卷绕镀膜机的冷鼓系统，其中，所述的冷鼓系统包括：冷鼓轴、焊接于冷鼓轴上的圆柱形冷鼓、真空室大门板、磁流体密封、同步带轮、旋转接头、进出水隔离管；冷鼓整体为圆柱形，内部密封，工作时抽真空处理，冷鼓内侧焊接有2块内部密封检漏支撑板；其柱面的外表面为一层金属材料，此材料具有外磨光镀铬层和内抛光层；紧贴着此金属材料层为水冷夹层，夹层中安装等距螺旋槽水冷，等距螺旋槽中的水来自于焊接的4支路同向旋转夹层水道，同向旋转夹层水道的进出水支路分别有4个，远离真空室大门板的4个支路为进水支路，靠近真空室大门板的4个支路为出水支路；

冷鼓轴为中空结构，其中安装有进出水隔离管，进出水隔离管的外径小于冷鼓轴空腔的直径，在冷鼓轴中形成了两个水流通道，进出水隔离管内部为冷却水流进入的通道，与同向旋转夹层水道的进水支路相通；进出水隔离管外壁和冷鼓轴内壁之间的空间为冷却水流出的通道，与同向旋转夹层水道的出水支路相通；同向旋转夹层水道的进水支路和出水支路上均包含软波纹管；

冷鼓轴两端用高精度轴承定位安装在固定于真空室大门板的两个母板上，轴头伸出真空室外，用磁流体密封进行真空密封。

如上所述的一种柔性基材卷绕镀膜机的冷鼓系统，其中，冷鼓外表面的一层金属材料可采用非磁性的1Cr18Ni9Ti或碳钢制造；用于水冷的等距螺旋槽的隔离条直径为20mm，间距为60mm。

如上所述的一种柔性基材卷绕镀膜机的冷鼓系统，其中，所述的外磨光镀铬层打磨后的精车镀硬铬厚度为100μm，表面硬度大于等于65度，表面粗糙度优于0.04μm。

本实用新型的优点是：经过外表面镀硬铬多次加工和水冷用等距螺旋槽的合理配置，以及冷鼓安装后多次校验动平衡，冷鼓工作时冷却因等离子体放电或蒸发镀膜所带来的热量使柔性基材表面温度均匀性为±5％，达到均匀冷却的目的。

附图说明

图1为本实用新型提供的冷鼓组件的结构示意图。

图2为冷鼓传动系统的结构示意图。

其中，1.内部密封检漏支撑板，2.四支路同向旋转夹层水道，3.软波纹连接，4.外磨光镀铬层，5.内抛光层，6.磁流体密封，7.同步带轮，8.旋转接头，9.进出水隔离管，10.等距螺旋槽，11.同步带，12.传动电机，13.真空室大门板，14.冷鼓轴，15.冷鼓。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步的说明：

如图1和图2所示的一种柔性基材卷绕镀膜机的冷鼓，其整体为圆柱形，内部密封，工作时抽真空处理，冷鼓内侧焊接有2块内部密封检漏支撑板1；两块内部密封检漏支撑板1起支撑和减少冷鼓内部抽气面积的作用，并且易于清理，内部大面积抽真空检漏处理，无需再抽二次真空；

2块内部密封检漏支撑板1为圆柱形，其轴线均平行于冷鼓15的上下底面；

其柱面的外表面为一层金属材料，此材料具有外磨光镀铬层4和内抛光层5；冷鼓材料可根据需要采用1Cr18Ni9Ti(非磁性)或碳钢制造，其大小由所需镀膜性质及要求所定；

紧贴着此金属材料层为水冷夹层，夹层中安装等距螺旋槽10水冷，等距螺旋槽10的隔离条直径为20mm，间距为60mm；