[实用新型]一种MEMS传声器

权利要求书

1.一种MEMS传声器，其特征在于，主要包括：

一基底，该基底的中心部开设有贯穿孔，该贯穿孔内侧壁空间设置有加强部，该加强部为中心往外侧散射，该加强部的上端与贯穿孔的上端为同一平面，由该贯穿孔形成MEMS传声器的背腔；

一背极板，设置在基底的上方；该背极板延伸出一连接外部电路的连接点；

该背极板的下表面与加强部的上端连接，由加强部将背极板悬空部分分解成多个单元，以增加MEMS传声器背极板层的强度；

一隔离层，设置在背极板的上方；

一振膜，其边缘部分固定在隔离层的上端，将振膜悬空地支撑在隔离层上，该振膜上设有与外部电路相连的连接点。

2.如权利要求1所述的MEMS传声器，其特征在于，在基底和背极板之间设置有一阻挡层，该阻挡层与基底贯穿孔相对应的位置也开设有贯穿孔，由基底的贯穿孔和阻挡层的贯穿孔共同形成MEMS传声器的背腔。

3.如权利要求1所述的MEMS传声器，其特征在于，基底的贯穿孔内侧壁空间设置的加强部为十字形状、三角形状或从基底贯穿孔内侧壁上凸起的齿轮形状。

4.如权利要求1所述的MEMS传声器，其中，振膜的边缘处延伸出多个连接筋，该多个连接筋分别固定在隔离层的上端，将振膜悬空地支撑在隔离层上，其中一个连接筋上设有与外部电路相连的连接点。

5.如权利要求4所述的MEMS传声器，其特征在于，连接筋为对称分布的四个。

6.如权利要求4或5所述的MEMS传声器，其特征在于，连接筋为直线状或呈螺旋状。

7.如权利要求4或5所述的MEMS传声器，其特征在于，连接筋上以及加强部的位置上开设有微孔。

8.如权利要求1所述的MEMS传声器，其特征在于，背极板和基底的贯穿孔相对应的位置设有多个微孔。

9.如权利要求1所述的MEMS传声器，其特征在于，基底为单晶硅材料，隔离层为氧化硅材料，振膜和背极板为多晶硅材料。