[实用新型]一种基板立式挂架的装载装置

权利要求书

1.一种基板立式挂架的装载装置，其特征在于，该装载装置包括用于放置基板的基板平台、机械手和基板立式挂架，其中：

基板立式挂架，安装有用于固定基板的夹紧装置；

机械手，包括驱动装置；多关节机械手臂，由驱动装置驱动绕不同关节运动；夹取式抓手，位于多关节机械手臂末端，在多关节机械手臂带动下将基板平台上的基板从两侧抓取并置于基板立式挂架上的夹紧装置内。

2.如权利要求1所述的装载装置，其特征在于，所述夹取式抓手包括：在同一直线上向相反方向运动的夹紧手抓；与夹紧手抓连接的手抓驱动器，用于提供夹紧手抓运动的动力。

3.如权利要求2所述的装载装置，其特征在于，所述手抓驱动器为气缸。

4.如权利要求1或2所述的装载装置，其特征在于，

所述基板立式挂架的结构为立式空心边框；

所述夹紧装置包括位于空心边框上并相对的导向夹紧块和固定块，导向夹紧块具有第一凹槽，固定块具有第二凹槽，第一凹槽和第二凹槽在空心边框内相对，第一凹槽内具有固定在其底部的弹簧及与弹簧连接的压板。

5.如权利要求4所述的装载装置，其特征在于，所述导向夹紧块位于空心边框的上部中间位置，所述固定块固定位于空心边框的下部中间位置。

6.如权利要求4所述的装载装置，其特征在于，该装载装置还包括挂架传送装置，用于将所述基板立式挂架传送至待料位置。