[实用新型]键合力监测、探测装置无效
| 申请号： | 200920101571.9 | 申请日： | 2009-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN201364886Y | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | 张续业;李朝军 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/607;G01L1/16;G01L1/00;B23K20/10;B29C65/08 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 董金国 |
| 地址： | 065201河北省三*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 合力 监测 探测 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种键合力监测、探测装置，它包括主体、超声波换触器、夹持座、劈刀和力传感器，其特征是所说超声波换能器(3)装于夹持座(2)上，夹持座(2)与主体(1)固定连接，且力传感器(7)固定连接于夹持座(2)与主体(1)之间。
2、根据权利要求1所述的键合力监测、探测装置，其特征是所说夹持座(2)与主体(1)相对的平面上设有供安装力传感器(7)的嵌槽(9)，且嵌槽(9)设于夹持座(2)上供夹持座(2)与主体(1)固定连接的一个螺钉孔处。
3、根据权利要求1或2所述的键合力监测、探测装置，其特征是所说力传感器(7)是压电晶体式传感器或应变式传感器。
4、根据权利要求1或2所述的键合力监测、探测装置，其特征是所说夹持座(2)与主体(1)间设有缓冲垫(8)，且缓冲垫(8)穿装在用于夹持座(2)和主体(1)固定连接的螺钉(6)杆上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十五研究所，未经中国电子科技集团公司第四十五研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200920101571.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：端面泵浦阶变梯度掺杂复合板条激光放大器
- 下一篇：风力发电机
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
