[发明专利]晶片输送机台

权利要求书

1.一种晶片输送机台，包括有：

一第一输送单元；

一第二输送单元；

一漂浮式输送单元，设置在该第一输送单元及该第二输送单元之间，并用 以将一晶片由该第一输送单元运送至该第二输送单元，其中该漂浮式输送单元 包括有一输入端及一输出端，且该输入端连接该第一输送单元，而该输出端则 连接该第二输送单元；及

至少一引导单元，设置在该漂浮式输送单元的侧边，使得该漂浮式输送单 元的宽度由该输入端逐渐往输出端缩减。

2.根据权利要求1所述的晶片输送机台，包括有至少一检测单元设置在 该第二输送单元。

3.根据权利要求1所述的晶片输送机台，其中该漂浮式输送单元为一气 浮式输送单元或一震动式输送单元。

4.根据权利要求1所述的晶片输送机台，其中该引导单元的数量为两个， 并分别设置在该漂浮式输送单元的两侧。

5.根据权利要求1所述的晶片输送机台，其中该第一输送单元的宽度大 于该第二输送单元的宽度。

6.根据权利要求1所述的晶片输送机台，其中该晶片为太阳能硅晶片。

7.根据权利要求1所述的晶片输送机台，其中该漂浮式输送单元的输入 端的高度大于该输出端的高度，且该第一输送单元的高度略高于该第二输送单 元的高度。

8.根据权利要求1所述的晶片输送机台，其中该输入端的宽度大于该输 出端的宽度。

9.根据权利要求1所述的晶片输送机台，其中该输入端的宽度与该第一 输送单元的宽度相近，该输出端的宽度则与该第二输送单元的宽度相近，且该 输出端的宽度与该晶片的宽度相近。

10.根据权利要求1所述的晶片输送机台，其中该漂浮式输送单元包括 有一平板、一气室及一供气单元，并在该平板上设置有多个穿孔，且该气室设 置在该平板下方并连接该供气单元。

11.根据权利要求1所述的晶片输送机台，其中该引导单元的数量为一 个，并设置在该漂浮式输送单元的一侧边，而该漂浮式输送单元的另一侧边则 设置有一侧壁。