[发明专利]磁盘用玻璃衬底及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及磁盘用玻璃衬底及其制造方法。更具体地，本发明涉 及研磨(polishing)圆形玻璃盘主面的方法。

背景技术

近来，对安装在信息处理装置如硬盘驱动器上的磁盘的高记录密 度的要求增加。在这种状况下，已经广泛使用具有优异平坦性和衬底 强度的玻璃衬底来代替常规的铝衬底。

例如，通过由玻璃板切出环形的圆玻璃板(在其中心处具有圆孔的 圆形玻璃板)、使用金刚石砂轮切削内圆周表面和外圆周表面、其后连 续实施主面磨光(lapping)和边缘表面镜面研磨以及利用研磨垫对圆形 玻璃板的主面进行研磨，制得磁盘用玻璃衬底。

为了增大磁盘的储存容量，必须扩展记录面积。因此，期望圆形 玻璃板的主面相对于更靠外的圆周侧平坦。然而，经常发生所谓的滚 降(roll-off)，所述滚降为主面向其边缘逐渐倾斜从而降低玻璃板厚度的 现象，如图1中所示，所述图1为示意性显示在研磨之后圆形玻璃板 的外圆周表面附近的剖视图。这种滚降发生的部分扩大得越多，记录 面积减少得越多。

通过duboff值评价圆形玻璃板边缘的形状。所述duboff值是指连 接在所述圆形玻璃板径向上选择的任意两个点的直线至圆形玻璃板表 面的最大距离(在圆形玻璃板横截面中的值)，如图1中所示。更接近于 0的duboff值，表明边缘的形状良好。

能够任意设定测定duboff值的范围，只要其为圆形玻璃板主面的 外圆周边缘的范围，即，在用作HDD盘时抑制磁头浮动的范围。例如， 在磁盘用玻璃衬底的直径为65mm的情况下，使用在R 30mm(R为距 中心的距离)～R 32mm的范围内(从边缘A向中心的0.35mm～2.35 mm，如图1中所示)测定的duboff值(duboff 2)和在R 29.9(R为距中心 的距离)mm～R 31.5mm的范围内(从边缘A向中心的0.85mm～2.45 mm，如图1中所示)测定的duboff值(duboff 1)。顺便提及，边缘A为 经研磨主面的边缘且通常也是一个斜切面的边缘。对于所述duboff值， 可以参考JP-A-2007-257810、JP-A-2007-87533、JP-A-2007-250166、 JP-A-2005-203021、JP-A-2006-92722和JP-A-2006-99949。

如上所述为了增大储存容量，必须降低duboff值，并且一直在改 进研磨垫。例如，已经提出，通过使用，通过允许包含特定量的研磨 材料而将Asker-A硬度提高至90以上的研磨垫来实施研磨(参见 JP-A-2007-250166)。

发明内容

在JP-A-2007-250166中所述的研磨方法中，为了消除因研磨垫变 形而产生的研磨时应力分布不均匀，增大所述研磨垫的硬度，例如将 Asker-A硬度提高至90以上，从而改善边缘的形状。然而，当使用高 硬度的研磨垫时，在某些情况下有时会引起这样的问题，即主面上的 刮痕增加、平坦度劣化、研磨速度早早地下降以及duboff 1劣化。除此 之外，在许多情况下，duboff 2因研磨而明显增大。

还考虑使用软研磨垫。然而，圆形玻璃板在研磨垫中深深地下沉， 从而导致牢固接触衬底边缘的垫部分的长度增加。因此，在许多情况 下，duboff 1和duboff 2两者明显增大。

此外，为了增加主面的平坦性，通常增加最终研磨时的去除量。 与此相关，duboff 1、duboff 2或duboff 1和duboff 2两者往往增大。

因此，本发明的目的是在制造磁盘用玻璃衬底时，在圆形玻璃板 主面的研磨步骤中，在保持主面的平坦性的同时，抑制duboff值的增 大。