[发明专利]磁盘用玻璃衬底及其制造方法

权利要求书

1.制造磁盘用玻璃衬底的方法，所述方法包括：在供应含研磨材 料的研磨浆体的同时，对圆形玻璃板的主面进行研磨的步骤，

其中在对研磨垫的研磨面进行修整处理之后，使用所述研磨垫进 行研磨，所述研磨垫仅具有：

形成所述研磨面的第一树脂泡沫层，所述第一树脂泡沫层包括具 有孔的树脂泡沫，所述孔的孔径为大于20μm，且所述第一树脂泡沫层 的厚度为400μm以下；和

在用于固定所述研磨垫的台板和所述第一树脂泡沫层之间设置的 第二树脂泡沫层，所述第二树脂泡沫层包括具有孔的树脂泡沫，所述 孔的孔径为20μm以下，且所述第二树脂泡沫层的厚度为50～250μm， 以及所述第二树脂泡沫层在厚度为200μm时的压缩率为3％以下，以 及

其中所述研磨垫的总厚度为550μm以下，且通过由JIS K6253规 定的M法测定的所述研磨垫的国际橡胶硬度为40IRHD以上。

2.如权利要求1所述的制造磁盘用玻璃衬底的方法，其中通过所 述修整处理，将所述研磨面的开孔面积比调节至8％以上，并将所述研 磨面开孔的平均圆当量直径调节至10μm以上。

3.如权利要求1所述的制造磁盘用玻璃衬底的方法，其中在通过 所述修整处理削除所述研磨垫的表层之后，在供应纯水的同时进行刷 洗清洁。

4.磁盘用玻璃衬底，其通过权利要求1的制造磁盘用玻璃衬底的 方法制得。