[发明专利]磨削装置以及磨削方法

权利要求书

1.一种磨削方法，其通过磨削装置来磨削工件，该磨削装置具有：保 持部，其具有载置上述工件的载置面，且将上述工件保持在上述载置面 上；以及将磨削砂轮抵接于保持在上述保持部上的上述工件上进行磨削 的磨削部，

上述工件具有在表面形成有器件的器件形成区域和上述器件形成区 域的周围的外周区域，上述工件以将背面的与上述器件形成区域对应的 区域去除，且从背面的与上述外周区域对应的区域突出加强用凸部的方 式形成有凹部，将上述工件的表面载置在上述保持部的载置面上，该磨 削方法的特征在于，

以上述磨削砂轮的磨削面与上述工件的凹部的内底面之间的间隔相 对于上述工件的凹部的内底面向上述凹部的内侧扩大的方式将上述磨削 砂轮的磨削面倾斜地抵接于上述加强用凸部上进行磨削。

2.根据权利要求1所述的磨削方法，其特征在于，上述磨削砂轮具有 环状的磨削面，

以上述磨削砂轮的环状的磨削面与上述加强用凸部在一部分上接触 的方式将上述磨削砂轮的磨削面倾斜地抵接于上述加强用凸部上进行磨 削。