[发明专利]阵列基板检测装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及检测阵列基板的装置和方法。

背景技术

一般来说，平板显示器(FPD)是比使用阴极射线管(CRT)的电视或监视器更薄更轻的图像显示器。已经开发并使用各种类型的FPD，如液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)以及有机发光二极管(OLED)等。

在这些类型的显示器中，LCD是这样的一种显示器：通过向以矩阵方式排列的液晶单元分别提供基于图像信息的数据信号，并且调整控制液晶单元的光传输性，从而显示希望的图像。由于LCD具有各种优点，如薄、轻、低功耗和操作电压低，因此它们被广泛使用。以下将描述制造通常用于此类LCD的液晶显示面板的方法。

首先，在上基板上形成彩色滤光片和共用电极，同时在与上基板相对的下基板上形成薄膜晶体管(TFT)和像素电极。随后，在将配向膜施加加到上下基板上之后，摩擦所述配向膜以便为将要在基板之间形成的液晶层的液晶分子提供预倾角和排列方向。

此外，以预定的图案向两个基板中的至少一个施加密封胶，形成密封胶图案，以防止液晶泄漏到面板之外，并且在保持基板间的间隙的同时密封基板。此后，在基板之间形成液晶层，完成液晶显示面板的制造。

在此工艺中，执行检测过程：检查是否存在缺陷，诸如在其上形成有TFT和像素电极的下基板(下文称之为“阵列基板”)上设置的栅极线和数据线存在断线，或者像素的颜色低劣。

为了检测这种阵列基板，使用配备带有多个探针的探测模块的检测装置。这种检测装置以这样的方式进行检测：定位探针以对应于在待检测的阵列基板上布置的多个电极、将探针压在电极上、以及将预定的电信号施加给电极。

同时，根据阵列基板的类型，阵列基板的电极的位置和布置方向也不同。为了使用单个检测装置来检测各种类型的阵列基板，必须执行调整探针的操作，使得探针的位置和布置方向与电极的位置和布置方向一致。然而，常规的检测装置的缺点在于：由于需要执行重新放置探测模块以适应电极的位置和布置方向的操作，制造工艺的效率低下。

发明内容

因此，根据现有技术中发生的上述问题做出了本发明，本发明的一个目的是提供一种阵列基板检测装置和方法，其可以转动探针棒，每一个探针棒配置有多个探针，以允许所述探针对应于阵列基板上布置的多个电极，因而有效地对多个电极的位置和布置方向不同的各种类型的阵列基板进行检测。

为了实现以上目的，本发明提供了一种阵列基板检测装置，其包括：布置在探针头支承件上的探针头，能够在所述探针头支承件的纵向上移动；设置在所述探针头上的探针棒，每一个探针棒上布置有多个探针；和转动部件，用于转动所述探针棒。

优选地，所述阵列基板检测装置还包括靠近所述探针头安装的成像单元，用于拍摄所述探针和所述阵列基板的电极。

此外，为了实现上述目的，本发明提供了一种使用阵列基板检测装置的阵列基板检测方法，该阵列基板检测装置包括：探针头；设置在所述探针头上的探针棒，每一个探针棒上布置多个探针；和用于转动所述探针棒的转动部件，所述方法包括：(a)移动相关的探针头，使得所述多个探针靠近所述阵列基板的电极；(b)转动所述探针头的探针棒，从而使所述阵列基板的电极对齐所述探针；和(c)将所述探针棒压在所述阵列基板的电极上，并且通过所述探针将电信号施加到所述阵列基板的电极。

优选地，步骤(b)包括：(b1)通过将所述探针压到电极上来测量带电电极的数量；和(b2)当步骤(b1)中测量的带电电极的数量小于电极的总数时，在第一方向或者与第一方向相反的第二方向上转动所述探针棒，将所述探针压在所述电极上，并且测量带电电极的数量，其中，当在步骤(b2)测量的带电电极的数量少于在步骤(b1)测量的带电电极的数量时，在与步骤(b2)中探针棒的转动方向相反的方向上转动探针棒，并且再次执行步骤(b2)，而当在步骤(b2)测量的带电电极的数量大于在步骤(b1)测量的带电电极的数量时，在与步骤(b2)中探针棒的转动方向相同的方向上转动探针棒，并且再次执行步骤(b2)以使所述电极对齐所述探针。

优选地，执行步骤(b)以拍摄所述探针和电极，并且使用拍摄的图像使所述电极对齐所述探针。

因此，根据本发明的阵列基板检测装置的优点在于：为了将电信号施加到电极布置位置不同的各种类型阵列基板的电极，仅通过执行转动相关探针棒的简单操作，而不需要象常规检测装置一样根据阵列基板的类型来放置探测模块，就可以使多个探针和各种类型的阵列基板的多个电极彼此一致，从而提高了制造工艺的效率。

附图说明