[发明专利]阵列基板检测装置及方法有效
| 申请号： | 200910249637.3 | 申请日： | 2009-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN102053400A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 朴种贤 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G01R1/073;G01R31/02 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 郭放;黄启行 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阵列 检测 装置 方法 | ||
1.一种阵列基板检测装置，包括：
布置在探针头支承件上的探针头，能够在所述探针头支承件的纵向上移动；
设置在所述探针头上的探针棒，每一个探针棒上布置有多个探针；和
转动部件，用于转动所述探针棒。
2.如权利要求1所述的阵列基板检测装置，还包括靠近所述探针头安装的成像单元，用于拍摄所述探针和所述阵列基板的电极。
3.一种使用阵列基板检测装置的阵列基板检测方法，该阵列基板检测装置包括：探针头；设置在所述探针头上的探针棒，每一个探针棒上布置多个探针；和用于转动所述探针棒的转动部件，所述方法包括：
(a)移动相关的探针头，使得所述多个探针靠近所述阵列基板的电极；
(b)转动所述探针头的探针棒，从而使所述阵列基板的电极对齐所述探针；和
(c)将所述探针棒压在所述阵列基板的电极上，并且通过所述探针将电信号施加到所述阵列基板的电极。
4.如权利要求3所述的阵列基板检测方法，其中，步骤(b)包括：
(b1)通过将所述探针压到电极上来测量带电电极的数量；和
(b2)当步骤(b1)中测量的带电电极的数量小于电极的总数时，在第一方向或者与第一方向相反的第二方向上转动所述探针棒，将所述探针压在所述电极上，并且测量带电电极的数量，
其中，当在步骤(b2)测量的带电电极的数量少于在步骤(b1)测量的带电电极的数量时，在与步骤(b2)中探针棒的转动方向相反的方向上转动探针棒，并且再次执行步骤(b2)，而当在步骤(b2)测量的带电电极的数量大于在步骤(b1)测量的带电电极的数量时，在与步骤(b2)中探针棒的转动方向相同的方向上转动探针棒，并且再次执行步骤(b2)以使所述电极对齐所述探针。
5.如权利要求3所述的阵列基板检测方法，其中，执行步骤(b)以拍摄所述探针和电极，并且使用拍摄的图像使所述电极对齐所述探针。
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