[发明专利]多自由度粗动工件台

权利要求书

1.一种多自由度粗动工件台，包括两个Y向直线电机、设置在两个Y向直线电机之间的横梁、一工件台和一X向电机，其特征在于，还包括一X向微动电机和一连接板；

所述X向微动电机设置在一Y向直线电机的一侧，所述X向微动电机通过所述连接板与该Y向直线电机连接；

所述横梁的一端与所述连接板连接，所述横梁的另一端与另一Y向直线电机连接；

在所述X向微动电机驱动下所述两个Y向直线电机作X向微量运动，用以保证两个Y向直线电机Y向运动时的直线度；

所述横梁穿过所述工件台，所述X向电机设置在所述横梁与所述工件台之间，该X向电机驱动所述工件台在所述横梁上作X向运动。

2.如权利要求1所述的多自由度粗动工件台，其特征在于，所述Y向直线电机包括Y向直线电机定子和能沿Y向直线电机定子移动的Y向直线电机动子。

3.如权利要求2所述的多自由度粗动工件台，其特征在于，所述横梁的一端通过所述连接板与一Y向直线电机的Y向直线电机动子连接，该横梁的另一端与另一Y向直线电机的Y向直线电机动子连接。

4.如权利要求2所述的多自由度粗动工件台，其特征在于，所述X向微动电机包括X向微动电机定子和能沿X向微动电机定子移动的X向微动电机动子，所述X向微动电机动子通过所述连接板与一Y向直线电机的Y向直线电机动子连接。

5.如权利要求1所述的多自由度粗动工件台，其特征在于，所述X向电机包括安装在所述横梁中的X向电机定子和安装在所述工件台中的X向电机动子。

6.如权利要求1所述的多自由度粗动工件台，其特征在于，还包括两个气浮块，所述两个气浮块分别支撑着所述横梁的两端。

7.如权利要求6所述的多自由度粗动工件台，其特征在于，所述两个气浮块均采用真空和气浮形成的稳定的气膜。

8.如权利要求7所述的多自由度粗动工件台，其特征在于，所述横梁相对所述气浮块静止。