[发明专利]可变电容元件

权利要求书

1.一种可变电容元件，包括：

基板；

信号线，其被设置在所述基板上；

多个可移动电极，其被设置为横跨所述信号线并且具有被固定到所述 基板的第一端和第二端；以及

固定电容部分，其被设置在所述多个可移动电极的所述第一端和所述 第二端中的至少一个与所述基板之间，并且设置在所述可移动电极的所述 第一端和所述第二端处，

其中，设置在所述多个可移动电极处的固定电容部分的值彼此不同。

2.一种可变电容元件，包括：

基板；

信号线，其被设置在所述基板上；

可移动电极，其被设置为横跨所述信号线并且具有被固定到所述基板 的第一端和第二端；以及

固定电容部分，其被设置在所述可移动电极的所述第一端和所述第二 端中的至少一个与所述基板之间，并且设置在所述可移动电极的所述第一 端和所述第二端处。

3.如权利要求2所述的可变电容元件，其中，设置在所述可移动电 极的所述第一端和所述第二端处的所述固定电容部分在电容值和形状中的 至少一个方面上相等。

4.如权利要求2所述的可变电容元件，其中，设置在所述可移动电 极的所述第一端和所述第二端处的所述固定电容部分具有相对于所述信号 线对称的形状。

5.如权利要求2所述的可变电容元件，其中，所述固定电容部分包 括连接到所述可移动电极的上部电极、设置在所述基板上并且与所述上部 电极相面对的下部电极以及设置在所述上部电极与所述下部电极之间的电 介质，并且

所述电介质在所述下部电极与所述信号线之间的间隙内延伸。

6.如权利要求5所述的可变电容元件，还包括连接到所述可移动电 极并且在所述基板上延伸的偏置线，

其中，所述偏置线通过所述电介质与所述下部电极绝缘。

7.如权利要求2所述的可变电容元件，其中，所述固定电容部分包 括连接到所述可移动电极的上部电极、设置在所述基板上并且与所述上部 电极相面对的下部电极以及设置在所述上部电极与所述下部电极之间的电 介质，

所述可变电容元件还包括连接到所述上部电极并且在所述基板上延伸 的偏置线，并且

所述偏置线设有电阻膜部分，并且所述电阻膜部分被保护膜覆盖。

8.一种包括可变电容元件的模块，包括：

基板；

信号线，其被设置在所述基板上；

可移动电极，其被设置为横跨所述信号线并且具有被固定到所述基板 的第一端和第二端；以及

固定电容部分，其被设置在所述可移动电极的所述第一端和所述第二 端中的至少一个与所述基板之间，并且设置在所述可移动电极的所述第一 端和所述第二端处。

9.一种设有包括可变电容元件的模块的通信设备，所述可变电容元 件包括：

基板；

信号线，其被设置在所述基板上；

可移动电极，其被设置为横跨所述信号线并且具有被固定到所述基板 的第一端和第二端；以及

固定电容部分，其被设置在所述可移动电极的所述第一端和所述第二 端中的至少一个与所述基板之间，并且设置在所述可移动电极的所述第一 端和所述第二端处。