[发明专利]用于真空镀膜的水平方向公自转机构

说明书

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，特别涉及一种用于真空镀膜的水平方向公 自转机构。

背景技术

在真空镀膜的过程中，需要保持被镀物体在水平方向的同时持续公转和自 转，以提高薄膜质量的稳定性。目前，随着光学、光电子产业的迅速发展，需 要加工的光学器件不仅仅局限于平面玻璃，还出现了很多不规则形状的元件， 如圆环形，圆柱形等。真空镀膜机由于真空的原因，夹具的动力源越少越好， 所以目前常用的的镀膜机一般只有一个垂直方向的旋转轴。现有的镀膜机在不 添加动力源的情况下，由于动力源的旋转轴只为垂直方向，所以夹具也只能以 垂直方向为旋转轴，即夹具的自转轨迹和公转轨迹相平行，因此现有的真空镀 膜机基本都只能做到平面玻璃在水平面上的公自转，而无法实现柱形等立体元 件的镀膜。为了适应光学、光电子产业的发展，适应越来越多不规则形状元件 的镀膜要求，这就要求平面公自转夹具加工能力从二维平面元件向三维立体元 件扩展。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种用于真空镀膜的水 平方向公自转机构，该机构只需利用真空镀膜机的动力源就可以在水平面方向 同时实现至少一个立体物的公自转运动，且其构造简洁紧凑，运行精确可靠。

本发明通过以下技术方案实现：一种用于真空镀膜的水平方向公自转机 构，包括公转传动组件和自转传动组件；所述公转传动组件包括一端通过齿轮 与真空镀膜机动力源连接的主轴，主轴另一端设有用于固定至少一个立体物安 装杆的支架；所述自转传动组件包括设于主轴一侧的传动杆、分别设于传动杆 两端的顶端齿轮和底端齿轮、与底端齿轮配合连接的传动齿轮组、以及分别设 于立体物安装杆一端并与传动齿轮组配合连接的安装杆齿轮，顶端齿轮与真空 镀膜机动力源的齿轮啮合配合。

所述支架包括支盘和用于固定立体物安装杆的固定板，支盘带有至少一个 凸块，固定板与凸块固定连接；所述主轴和传动杆并列设于支盘顶部。

所述固定板、凸块和立体物安装杆的数目相同，且固定板与凸块、固定板 与立体物安装杆之间一一对应固定连接。

所述底端齿轮和传动齿轮组设于支架内部的支盘下方，各立体物安装杆穿 过对应的固定板并通过轴承与固定板连接，设于各立体物安装杆一端的安装杆 齿轮分别与传动齿轮组啮合配合。

所述主轴与传动杆之间设有至少一个固定块，以保证主轴及传动杆固定， 从而保证各传动构件运行准确。

所述设于传动杆两端的顶端齿轮和底端齿轮规格相同。

所述传动齿轮组为通过轴承垂直固定的两个齿轮，上方的齿轮与传动杆的 底端齿轮配合连接，下方的齿轮与各安装杆齿轮配合连接。

本发明用于真空镀膜的水平方向公自转机构使用时，其工作原理为：真空 镀膜机动力源带动主轴旋转，从而带动安装于主轴另一端的支架及立体物安装 杆旋转，此时实现了各立体物安装杆水平方向的公转运动；真空镀膜机动力源 带动主轴旋转的同时，加装于动力源上的齿轮(各个真空镀膜机生产厂家的真 空镀膜机所需加装的齿轮尺寸不同，因此齿轮尺寸根据实际需要进行选择)同 时带动顶端齿轮旋转，顶端齿轮通过传动杆带动末端齿轮旋转，从而带动传动 齿轮组旋转，传动齿轮组通过各安装杆齿轮带动其对应的立体物安装杆旋转， 此时实现了各立体物安装杆水平方向的自转运动；因此，本发明的水平方向公 自转机构同时实现了各立体物安装杆在水平方向上的公、自转运动。

本发明相对于上述现有技术，具有如下优点效果：

1、本发明的水平方向公自转机构只需利用真空镀膜机的动力源就可以在 水平面方向同时实现至少一个立体物的公自转运动，其构造简洁紧凑，节约成 本，同时，各传动构件之间的传动通过多个齿轮完成，其运行精确可靠。

2、本发明的水平方向公自转机构，其夹具的公转旋转轴为垂直方向，夹 具的自转旋转轴为水平方向，因此可以较好地实现立体元件的真空镀膜，适应 三维立体元件的发展；同时，除了能很好地运用于真空镀膜技术领域，也可以 运用于其它相近的领域。

附图说明

图1是本用于真空镀膜的水平方向公自转机构的工作原理示意图。

图2是本用于真空镀膜的水平方向公自转机构的结构示意图。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本发明作进一步的详细说明，但本发明的实 施方式不限于此。

实施例