[发明专利]一种水基玻璃磨削液及其使用方法有效
| 申请号: | 200910201380.4 | 申请日: | 2009-12-18 |
| 公开(公告)号: | CN102102008A | 公开(公告)日: | 2011-06-22 |
| 发明(设计)人: | 史永涛;彭洪修 | 申请(专利权)人: | 安集微电子(上海)有限公司 |
| 主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14;B24B7/24 |
| 代理公司: | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人: | 李佳铭 |
| 地址: | 201203 上海市浦东新区张江高*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 玻璃 磨削 及其 使用方法 | ||
1.一种水基玻璃磨削液,其包含:季铵盐表面活性剂、有机醇、缓蚀剂和水。
2.如权利要求1所述磨削液,其特征在于,所述季铵盐表面活性剂的质量百分含量为0.1~20wt%,所述有机醇的质量百分含量为0.1~30wt%,所述缓蚀剂的质量百分含量为0.01~20wt%,所述水的质量百分含量为30~99.5wt%。
3.如权利要求1所述磨削液,其特征在于,所述季铵盐表面活性剂选自烷基季铵盐、酯基季铵盐、酰胺季铵盐、聚氧乙烯季铵盐和咪唑啉季铵盐中的一种或多种。
4.如权利要求3所述磨削液,其特征在于,所述季铵盐表面活性剂选自苯基三甲基溴化铵、苄基三甲基溴化铵、十二烷基三甲基溴化铵、十二烷基三甲基醋酸铵、十二烷基三甲基硫酸铵、十二烷基三甲基磺酸铵、十二烷基二甲基苄基溴化铵、十二烷基二甲基苄基醋酸铵、十四烷基三甲基氯化铵、十四烷基三甲基溴化铵、十四烷基三甲基硫酸铵、十四烷基二甲基苄基溴化铵、十四烷基二甲基苄基醋酸铵、十六烷基三甲基氯化铵、十六烷基三甲基溴化铵、十六烷基三甲基醋酸铵、十八烷基三甲基溴化铵、双十二烷基二甲基溴化铵、三辛基甲基溴化铵、松香基十四烷基三甲基溴化铵、十六烷基糖苷十二烷基三甲基溴化铵、双辛烷基糖苷二(十二烷基三甲基溴化铵)、双十二烷基糖苷三(十六烷基三甲基溴化铵)、3,3′-己二酰氧基-2,2′-二羟基-二丙基-双(十二烷基二甲基溴化铵)、十四酰胺十二烷基二甲基溴化铵、聚氧乙烯十二烷基二甲基溴化铵(数均分子量为5000)、聚氧乙烯十六烷基二甲基氯化铵(数均分子量为20000)、聚氧乙烯十六烷基二甲基溴化铵(数均分子量为10000)、二(2-十一(十七)烷基-1-甲酰胺乙基咪唑啉)己二胺三甲基溴化铵和二(2-十一烷基咪唑啉)丁二胺三甲基溴化铵中的一种或多种。
5.如权利要求4所述磨削液,其特征在于,所述季铵盐表面活性剂选自苄基三甲基溴化铵、十二烷基三甲基溴化铵、十二烷基二甲基苄基溴化铵、十四烷基三甲基溴化铵、十四烷基二甲基苄基溴化铵、十六烷基三甲基溴化铵、双十二烷基二甲基溴化铵、十四酰胺十二烷基二甲基溴化铵、聚氧乙烯十二烷基二甲基溴化铵和二(2-十一烷基咪唑啉)丁二胺三甲基溴化铵中的一种或多种。
6.如权利要求2所述磨削液,其特征在于,所述季铵盐表面活性剂的质量百分含量为0.5~10wt%。
7.如权利要求1所述磨削液,其特征在于,所述有机醇选自乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、一缩二乙二醇、三缩二乙二醇、六缩二乙二醇、二缩三乙二醇、丙二醇、二丙二醇、一缩二丙二醇、三缩二丙二醇和六缩二丙二醇中的一种或多种。
8.如权利要求7所述磨削液,其特征在于,所述有机醇选自三缩二乙二醇、六缩二乙二醇、一缩二丙二醇、三缩二丙二醇、六缩二丙二醇和丙三醇中的一种或多种。
9.如权利要求2所述磨削液,其特征在于,所述有机醇的质量百分含量为0.5~20wt%。
10.如权利要求1所述磨削液,其特征在于,所述缓蚀剂选自硼酸、硼酸盐、硼酸酯、柠檬酸、柠檬酸盐、柠檬酸酯、唑类、膦酸类和聚丙烯酸类缓蚀剂中的一种或多种。
11.如权利要求10所述磨削液,其特征在于,所述缓蚀剂选自硼酸、苯硼酸、2-羧基苯硼酸、2-羟甲基苯硼酸、四甲基硼酸铵、四乙基硼酸铵、硼酸-乙醇胺盐、硼酸三乙醇胺盐、硼酸二甘醇胺盐、硼酸-乙醇胺酯、硼酸三乙醇胺酯、硼酸二甘醇胺酯、硼酸异丙醇胺酯、硼酸甲基乙醇胺酯、硼酸甲基二乙醇胺酯、双联邻苯二酚硼酸酯、柠檬酸、2-羟基柠檬酸、柠檬酸月桂醇酯、柠檬酸-乙醇胺酯、柠檬酸三乙醇胺酯、柠檬酸二甘醇胺酯、柠檬酸四甲基铵、柠檬酸四乙基铵、柠檬酸-乙醇胺盐、柠檬酸三乙醇胺盐、柠檬酸二甘醇胺盐、苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑、苯并三氮唑二乙醇胺盐、2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、3-氨基-1,2,4-三氮唑、4-氨基-1,2,4-三氮唑、3-氨基-5-巯基-1,2,4-三氮唑、5-氨基-四氮唑、1-羟基亚乙基-1,1-二膦酸、氨基三亚甲基膦酸、2-膦酸丁烷-1,2,4-三羧酸、乙二胺四亚甲基膦酸、聚氧乙烯改性的聚甲基丙烯酸和聚氧乙烯改性的聚丙烯酸一乙醇胺盐中的一种或多种。
12.如权利要求2所述磨削液,其特征在于,所述缓蚀剂的质量百分含量为0.1~10wt%。
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