[发明专利]一种BiFeO3薄膜电阻存储器结构及其制备方法无效
| 申请号： | 200910199163.6 | 申请日： | 2009-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN101728484A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 陈心满;石旺舟;包定华;王涛 | 申请（专利权）人： | 上海师范大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 季申清 |
| 地址： | 200234 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 bifeo sub 薄膜 电阻 存储器 结构 及其 制备 方法 | ||
1.一种包含BiFeO3薄膜电阻存储器的集成电路，其特征在于，包含：
LaNiO3电极覆盖的Si衬底；
Pt/TiO2/SiO2/Si衬底；
于所述LaNiO3及Pt底电极上形成的BiFeO3薄膜以及在该BiFeO3薄膜表面上的多个表面电极，所述表面电极包括Pt、Au和Ag金属电极。
2.一种制备包含BiFeO3薄膜电阻存储器的集成电路的方法，其特征在于，该方法包括：
制备BiFeO3溶胶，即将Fe(NO3)3.5H2O与Bi(NO3)3.9H2O同溶剂乙二醇甲醚充分混合，并在60～80℃恒温搅拌0.5～1小时后，加入二乙醇胺，充分混合搅拌后自然冷却到室温，室温下搅拌2～4小时后过滤，得到BiFeO3溶液，经陈化后得到其溶胶；
制备BiFeO3薄膜，即将所述BiFeO3溶胶在LaNiO3覆盖的衬底上，该衬底是Si衬底、LaNiO3/Si衬底、LaNiO3/SiO2/Si衬底以及Pt/TiO2/SiO2/Si衬底中的一种，采用旋涂法制备BiFeO3薄膜，甩胶后的湿膜在热平板上进行预处理，经过多次甩胶-预处理-甩胶过程，得到BiFeO3薄膜；
所述BiFeO3薄膜经500℃～600℃下退火冷却到室温后在其表面镀所述的表面电极，形成所述BiFeO3薄膜电阻存储器。
3.如权利要求2所述制备包含BiFeO3薄膜电阻存储器的集成电路的方法，其特征在于，加入二乙醇胺调节溶液粘度及后续薄膜的微结构。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海师范大学，未经上海师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200910199163.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：业务数据传输方法和装置
- 下一篇：一种多层LED芯片结构及其制备方法
- 一种制备BiFeO<sub>3</sub>薄膜的方法
- 在SrTiO<sub>3</sub>衬底上调控多铁铁酸铋外延薄膜带隙的方法
- 一种梯度铁电薄膜太阳能电池的制备方法
- BiFeO<sub>3</sub>锂离子电池阳极材料的制备方法
- BiFeO<sub>3</sub>钠离子电池阳极材料的制备方法
- 一种制备纯相BiFeO<sub>3</sub>陶瓷的湿化学方法
- 一种Tb、Mn 和Cu 三元共掺杂的低漏电流BiFeO<sub>3</sub> 薄膜及其制备方法
- 一种B位Mn和Ni共掺杂高剩余极化强度的BiFeO<sub>3</sub> 薄膜及其制备方法
- 一种Tb和Mn共掺杂高剩余极化强度的BiFeO<sub>3</sub> 薄膜及其制备方法
- 一种BiFeO<base:Sub>3
- 一种Nd<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-Yb<sub>2</sub>O<sub>3</sub>改性的La<sub>2</sub>Zr<sub>2</sub>O<sub>7</sub>-(Zr<sub>0.92</sub>Y<sub>0.08</sub>)O<sub>1.96</sub>复相热障涂层材料
- 无铅[(Na<sub>0.57</sub>K<sub>0.43</sub>)<sub>0.94</sub>Li<sub>0.06</sub>][(Nb<sub>0.94</sub>Sb<sub>0.06</sub>)<sub>0.95</sub>Ta<sub>0.05</sub>]O<sub>3</sub>纳米管及其制备方法
- 磁性材料HN(C<sub>2</sub>H<sub>5</sub>)<sub>3</sub>·[Co<sub>4</sub>Na<sub>3</sub>(heb)<sub>6</sub>(N<sub>3</sub>)<sub>6</sub>]及合成方法
- 磁性材料[Co<sub>2</sub>Na<sub>2</sub>(hmb)<sub>4</sub>(N<sub>3</sub>)<sub>2</sub>(CH<sub>3</sub>CN)<sub>2</sub>]·(CH<sub>3</sub>CN)<sub>2</sub> 及合成方法
- 一种Bi<sub>0.90</sub>Er<sub>0.10</sub>Fe<sub>0.96</sub>Co<sub>0.02</sub>Mn<sub>0.02</sub>O<sub>3</sub>/Mn<sub>1-x</sub>Co<sub>x</sub>Fe<sub>2</sub>O<sub>4</sub> 复合膜及其制备方法
- Bi<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-TeO<sub>2</sub>-SiO<sub>2</sub>-WO<sub>3</sub>系玻璃
- 荧光材料[Cu<sub>2</sub>Na<sub>2</sub>(mtyp)<sub>2</sub>(CH<sub>3</sub>COO)<sub>2</sub>(H<sub>2</sub>O)<sub>3</sub>]<sub>n</sub>及合成方法
- 一种(Y<sub>1</sub>-<sub>x</sub>Ln<sub>x</sub>)<sub>2</sub>(MoO<sub>4</sub>)<sub>3</sub>薄膜的直接制备方法
- 荧光材料(CH<sub>2</sub>NH<sub>3</sub>)<sub>2</sub>ZnI<sub>4</sub>
- Li<sub>1.2</sub>Ni<sub>0.13</sub>Co<sub>0.13</sub>Mn<sub>0.54</sub>O<sub>2</sub>/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>复合材料的制备方法
