[发明专利]人工仿生复眼的制作方法有效
| 申请号: | 200910183930.4 | 申请日: | 2009-08-13 |
| 公开(公告)号: | CN101672937A | 公开(公告)日: | 2010-03-17 |
| 发明(设计)人: | 陈晔;周桃飞;崔苗 | 申请(专利权)人: | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号: | G02B3/10 | 分类号: | G02B3/10;G03F7/00 |
| 代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人: | 陈忠辉 |
| 地址: | 215125江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 人工 仿生 复眼 制作方法 | ||
1.人工仿生复眼的制作方法,其特征在于包括以下步骤:
I、利用飞秒脉冲双光子聚合法制出反型曲面微透镜模子,所述反型曲面 微透镜模子为碗状结构,且其内凹表面形成均匀排布的微纳米级的球面凹坑;
II、以反型曲面微透镜模子为基础,利用紫外纳米压印制成一立体曲面微 透镜模板;
III、采用聚二甲基硅氧烷覆盖在立体曲面微透镜模板上制成弹性模子;
IV、将光敏树脂盛装在弹性模子中,经过加热烘烤制成一极性相反的光敏 聚合物模子;
V、利用透镜把紫外线聚焦正对照射到放置在衬底上的光敏聚合物模子 上,通过自写波导法制作出光传输通道,透过光敏聚合物模子贯通至衬底。
2.根据权利要求1所述的人工仿生复眼的制作方法,其特征在于:步骤 IV中所述光敏聚合物的制作工艺选用的是光敏树脂SU-8。
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