[发明专利]半导体器件无效
申请号: | 200910163685.0 | 申请日: | 2009-08-10 |
公开(公告)号: | CN101651288A | 公开(公告)日: | 2010-02-17 |
发明(设计)人: | 岸野克巳;野村一郎;玉村好司;田才邦彦;朝妻庸纪;中岛博;中村均;藤崎寿美子;纪川健 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立制作所;学校法人上智学院;索尼株式会社 |
主分类号: | H01S5/327 | 分类号: | H01S5/327;H01S5/347;H01S5/028;H01L33/00;H01L31/101 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 陈桂香;武玉琴 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体器件 | ||
1.一种半导体器件,其包括半导体层,所述半导体层在InP基板上 依次包括n型第一熔覆层、n型第二熔覆层、活性层、p型第一熔覆层和 p型第二熔覆层,
其中,所述n型第一熔覆层和所述n型第二熔覆层满足下面的公式 (1)~公式(4),或者所述p型第一熔覆层和所述p型第二熔覆层满足下面 的公式(5)~公式(8),
1×1017cm-3≤N1≤1×1020cm-3 ...(1)
N1>N2 ...(2)
D1>D2 ...(3)
Ec1<Ec3<Ec2 ...(4)
1×1017cm-3≤N4≤1020cm-3 ...(5)
N3<N4 ...(6)
D3<D4 ...(7)
Ev1<Ev3<Ev2 ...(8)
上述公式中,N1是所述n型第一熔覆层的n型载流子浓度,N2是 所述n型第二熔覆层的n型载流子浓度,D1是所述n型第一熔覆层的层 厚度,D2是所述n型第二熔覆层的层厚度,Ec1是所述n型第一熔覆层 的导带底端或者导带次级底端,Ec2是所述n型第二熔覆层的导带底端 或者导带次级底端,Ec3是所述活性层的导带底端或者导带次级底端, N3是所述p型第一熔覆层的p型载流子浓度,N4是所述p型第二熔覆 层的p型载流子浓度,D3是所述p型第一熔覆层的层厚度,D4是所述p 型第二熔覆层的层厚度,Ev1是所述p型第一熔覆层的价带顶端或者价 带次级顶端,Ev2是所述p型第二熔覆层的价带顶端或者价带次级顶端, 以及Ev3是所述活性层的价带顶端或者价带次级顶端。
2.如权利要求1所述的半导体器件,其中,在所述n型第一熔覆层 和所述n型第二熔覆层满足公式(1)~公式(4)的情况下,
所述n型第一熔覆层具有主要含有Mgx1Znx2Cd1-x1-x2Se的单层结构, 或者主要含有MgSe/Znx3Cd1-x3Se超晶格的层叠结构,并且
所述n型第二熔覆层具有主要含有Mgx4Zn1-x4Sex5Te1-x5的单层结构, 或者主要含有MgSe/Mgx6Zn1-x6Sex7Te1-x7超晶格的层叠结构,
其中0<x1<1,0<x2<1,0<1-x1-x2<1,0<x3<1,0<x4<1,0.5<x5<1, 0<x6<1,0.5<x7<1。
3.如权利要求1所述的半导体器件,其中,在所述p型第一熔覆层 和所述p型第二熔覆层满足公式(5)~公式(8)的情况下,
所述p型第一熔覆层具有主要含有MgSe/Bex8Zn1-x8Te超晶格的层叠 结构,并且
所述p型第二熔覆层具有主要含有Bex9Mg1-x9Te/Bex10Zn1-x10Te超晶 格的层叠结构,或者主要含有Bex11Mgx12Zn1-x11-x12Te的单层结构,
其中,0<x8<1,0<x9<1,0<x10<1,0<x11<1,0<x12<1,0<1-x11-x12<1。
4.如权利要求1所述的半导体器件,其中,所述活性层具有主要含 有Bex13Zn1-x13Sex14Te1-x14的单层结构、主要含有 MgSe/Bex15Zn1-x15Sex16Te1-x16超晶格的层叠结构或者主要含有 ZnSe/Bex17Zn1-x17Sex18Te1-x18超晶格的层叠结构,
其中,0<x13<1,0<x14<1,0<x15<1,0<x16<1,0<x17<1,0≤x18<1。
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