[发明专利]用于测量三维矢量的微机电系统元件

权利要求书

1.一种微机电系统元件，其中，x轴线、y轴线和z轴线是直角坐标系 的三条轴线，其中将与梁部分沿其长侧跨过的方向平行的方向限定为x轴线、 将以直角与x轴线交叉的梁部分的短侧方向限定为y轴线、将梁部分的厚度 方向限定为z轴线，该微机电系统元件包括：

支承部分，具有矩形框架结构，当从z轴线方向观察时，该矩形的内轮 廓和外轮廓都是沿x轴线方向较长而沿y轴线方向较短；

两个梁部分，其沿y轴线方向的长度比沿x轴线方向的长度短，两个梁 部分彼此平行且平行于x轴线方向跨过支承部分的内部，每个梁部分的两端 固定到支承部分，每个梁部分为薄膜结构；

配重部分，放置在支承部分，该配重部分是交叉形柱体，具有连接部和 两个突出部，当从z轴线方向观察时，该配重部分沿x轴线方向长且沿y轴 线方向短，该配重部分的该连接部跨过两个梁部分的中心，该突出部放置在 两个梁部分之间的间隔中，该突出部沿y轴线方向的长度比两个梁部分之间 的沿y方向的间隔短，两个突出部从连接部的y轴线方向的中心平行于x轴 线向彼此相反的方向突出；和

多个畸变检测器，放置在每个梁部分上并对与梁部分的变形相对应的畸 变进行检测，以测量与作用在配重部分上的力相对应的矢量的xyz分量。