[发明专利]切削装置

权利要求书

1.一种切削装置，其至少具有：卡盘工作台，其保持晶片；切削构件，其具有对保持于所述卡盘工作台的晶片进行切削的能够旋转的切削刀具；校准构件，其对保持在所述卡盘工作台上的晶片进行摄像，以检测出应进行切削的区域；以及槽检查构件，其对通过用所述切削构件进行切削而形成在所述晶片上的切削槽进行检查，该切削装置的特征在于，

所述槽检查构件具有：

物镜；经所述物镜进行摄像的摄像构件；显示由所述摄像构件取得的图像的显示构件；筒体，其包围所述物镜，并且具有开口部，在该开口部和所述晶片之间形成有间隙，所述开口部朝向保持在所述卡盘工作台上的晶片开口；间隔壁，其配置于所述物镜和所述开口部之间；储水室，其由所述间隔壁、所述筒体和所述开口部形成；以及供给水源，其向所述储水室供水。

2.根据权利要求1所述的切削装置，其特征在于，

在该切削装置中设置有超声波振子，该超声波振子用于向供给到了所述储水室中的水传递超声波。

3.根据权利要求1或2所述的的切削装置，其特征在于，

所述槽检查构件兼用作对晶片进行摄像以检测出应进行切削的区域的所述校准构件。