[发明专利]堆叠装载锁定室及包含其的衬底处理设备

权利要求书

1.一种堆叠装载锁定室，包括：

第一装载锁定室；

堆叠在所述第一装载锁定室上的第二装载锁定室；

第一狭缝阀运动件，其构造成打开和封闭设置到所述第一装载锁定室的大气侧的第一开口；

第二狭缝阀运动件，其构造成打开和封闭设置到所述第二装载锁定室的大气侧的第二开口；

第一臂，其连接至所述第一狭缝阀运动件；

第二臂，其连接至所述第二狭缝阀运动件；以及

驱动器，其位于所述第一装载锁定室和第二装载锁定室的下方，并构造成驱动所述第一臂和第二臂，以便通过所述第一臂和第二臂使所述第一狭缝阀运动件和第二狭缝阀运动件运动。

2.根据权利要求1所述的堆叠装载锁定室，其中所述驱动器构造成：当打开所述第一开口和所述第二开口时，沿相反方向驱动所述第一狭缝阀运动件和所述第二狭缝阀运动件；并且当封闭所述第一开口和所述第二开口时，沿相反方向驱动所述第一狭缝阀运动件和所述第二狭缝阀运动件。

3.根据权利要求1所述的堆叠装载锁定室，其中在所述第一狭缝阀运动件与所述第二狭缝阀运动件之间布置分隔构件。

4.根据权利要求1所述的堆叠装载锁定室，其中

所述第一狭缝阀运动件连接至所述第一臂，并且所述第一臂设有第一铰链，所述第一铰链允许旋转所述第一臂，以便使所述第一狭缝阀运动件运动至与所述第一装载锁定室的所述第一开口间隔开的位置，

所述第二狭缝阀运动件连接至所述第二臂，并且所述第二臂设有第二铰链，所述第二铰链允许旋转所述第二臂，以便使所述第二狭缝阀运动件运动至与所述第二装载锁定室的所述第二开口间隔开的位置。

5.一种真空处理设备，包括：

柱形转移室，其包括多边形的底表面和多边形的上表面、以及连接至多个处理室的多个侧面；以及

根据权利要求1所述的堆叠装载锁定室，其连接至所述转移室的所述多个侧面中相邻的侧面。