[发明专利]液体喷出头及其制造方法

权利要求书

1.一种液体喷出头，其具有喷出液体用的喷出口，该液体喷出头包括：

基板，其包括用于产生从所述喷出口喷出液体用的热能的热产生部以及被设置成覆盖所述热产生部的层；以及

由树脂制成并且被设置成与所述层接触的构件，该构件包括与所述喷出口连通的液体流路的壁；其中，

所述层的与所述热产生部对应的部分含有作为主要成分的贵金属，并且该部分的每单位体积的所述贵金属的原子百分数的值比所述层的与所述构件接触的部分的每单位体积的所述贵金属的原子百分数的值大，

所述液体喷出头包括暴露于所述流路并且被电连接到所述层的与所述热产生部对应的部分的电极。

2.根据权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，能够通过在所述电极与所述层之间施加电压来电解所述层的与所述热产生部对应的部分的表面。

3.根据权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，所述层含有氧原子。

4.根据权利要求3所述的液体喷出头，其特征在于，所述层的与所述构件接触的部分的每单位体积的氧的原子百分数的值比所述层的与所述热产生部对应的部分的每单位体积的氧的原子百分数的值大。

5.根据权利要求3所述的液体喷出头，其特征在于，所述层的与所述构件接触的部分的每单位体积的氧的原子百分数随着从所述构件侧靠近所述基板而减少。

6.根据权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，所述贵金属是铱，所述层的与所述构件接触的部分含有氧化铱。

7.根据权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，在所述层中，与所述热产生部对应的部分和与所述构件接触的部分连续。

8.一种液体喷出头的制造方法，该液体喷出头具有喷出液体用的喷出口；该方法包括以下步骤：

设置基板，在所述基板中设置用于产生从所述喷出口喷出液体用的热能的热产生部和被设置成覆盖所述热产生部的层，该层包括贵金属的氧化物；

在所述层上设置由树脂制成的构件，该构件包括与所述喷出口连通的流路的壁；以及

通过对所述热产生部进行加热来还原所述层的与所述热产生部对应的部分。

9.根据权利要求8所述的液体喷出头的制造方法，其特征在于，进行所述还原步骤，使得所述层的与所述构件接触的部分的每单位体积的氧的原子百分数的值大于所述层的与所述热产生部对应的部分的每单位体积的氧的原子百分数的值。

10.根据权利要求8所述的液体喷出头的制造方法，其特征在于，进行所述还原步骤，使得所述层的与所述构件接触的部分的每单位体积的贵金属的原子百分数的值小于所述层的与所述热产生部对应的部分的每单位体积的贵金属的原子百分数的值。

11.根据权利要求8所述的液体喷出头的制造方法，其特征在于，包括贵金属的氧化物的所述层被形成为其氧含量能随着从所述层的所述构件侧的表面靠近所述层的所述基板侧的表面而减少。

12.根据权利要求8所述的液体喷出头的制造方法，其特征在于，利用反应溅射方法形成包括贵金属的氧化物的所述层。

13.根据权利要求8所述的液体喷出头的制造方法，其特征在于，所述贵金属是铱，在所述还原步骤中被还原的所述层的与所述热产生部对应的部分是二氧化铱。