[发明专利]一种微机械音叉陀螺仪无效
| 申请号： | 200910059862.0 | 申请日： | 2009-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN101592489A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 刘晓明;管继平 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;B81B7/02 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 611731四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微机 音叉 陀螺仪 | ||
1.一种微机械音叉陀螺仪，包括微机械音叉陀螺结构，所述微机械音叉陀螺结构包括两个质量块(1)、两个音叉折叠式悬臂梁(2)、两个支柱(3)、四个驱动梳齿(4)；所述音叉折叠式悬臂梁(2)为音叉结构，由“T”字型连接梁(21)和两个折叠梁(23)构成；其中：所述“T”字型连接梁(21)由纵梁(211)和横梁(212)构成；所述“T”字型连接梁(21)的横梁(212)两端分别连接一个折叠梁(23)；所述折叠梁(23)包括一段直线部分(231)和折叠部分(232)；第一音叉折叠式悬臂梁(2)的第一折叠梁(23)的折叠部分(232)和第二音叉折叠式悬臂梁(2)的第一折叠梁(23)的折叠部分(232)之间连接第一质量块(1)；第一音叉折叠式悬臂梁(2)的第二折叠梁(23)的折叠部分(232)和第二音叉折叠式悬臂梁(2)的第二折叠梁(23)的折叠部分(232)之间连接第二质量块(1)；两个质量块(1)和两个音叉折叠式悬臂梁(2)通过与音叉折叠式悬臂梁(2)的“T”字型连接梁(21)的纵梁(211)底端相连的两个支柱(3)支撑于基底上，使得整个微机械音叉陀螺结构平行悬浮于基底上方；两个质量块(1)的形状和质量完全相同，两个音叉折叠式悬臂梁(2)结构完全相同；且整个微机械音叉陀螺结构以两个支柱(3)的中心连线为对称轴呈镜面对称，同时以两个质量块的几何中心连线为对称轴呈镜面对称；所述驱动梳齿(4)由固定梳齿电极(41)和可动梳齿电极(42)构成，固定梳齿电极(41)和可动梳齿电极(42)形成一个叉指结构；所述固定梳齿电极(41)固定于基底上方，所述可动梳齿电极(42)固定于音叉折叠式悬臂梁(2)的折叠梁(23)的直线部分(231)且靠近折叠部分(232)的侧面。
2.根据权利要求1所述的微机械音叉陀螺仪，其特征在于，所述音叉折叠式悬臂梁(2)的“T”字型连接梁(21)的横梁(212)的宽度尺寸大于折叠梁(23)的直线部分(231)的宽度尺寸。
3.根据权利要求1所述的微机械音叉陀螺仪，其特征在于，所述音叉折叠式悬臂梁(2)的折叠梁(23)的折叠部分为双折叠结构。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学，未经电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200910059862.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
