[发明专利]互连线有源器件测试结构及方法无效
| 申请号： | 200910057766.2 | 申请日： | 2009-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN101995523A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 秦晓静;程玉华 | 申请（专利权）人： | 上海北京大学微电子研究院 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/27 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 互连 有源 器件 测试 结构 方法 | ||
1.一种互连线有源器件测试结构，包括互连线结构及有源器件结构，其特征在于，所述互连线结构的互连线和有源器件结构至少共用一个测试端；且
共用测试端的互连线未处于回路中。
2.如权利要求1所述的测试结构，其特征在于，所述互连线结构中一根互连线只能与一个有源器件结构共用测试端。
3.如权利要求1所述的测试结构，其特征在于，一个有源器件结构与一根互连线共用测试端。
4.如权利要求1所述的测试结构，其特征在于，一个有源器件结构与至少两根互连线共用测试端。
5.如权利要求1所述的测试结构，其特征在于，所述有源器件为金属氧化物半导体晶体管或二极管。
6.如权利要求5所述的测试结构，其特征在于，所述晶体管的源极、漏极、栅极及衬底的四个连接端中，各个连接端均与互连线共用测试端。
7.如权利要求5所述的测试结构，其特征在于，所述晶体管的源极、漏极、栅极及衬底四个连接端中，有部分连接端与互连线共用测试端。
8.一种互连线有源器件测试方法，包括：
制作包含互连线有源器件测试结构的测试芯片，其中所述测试结构包含互连线结构及有源器件结构，所述互连线结构及有源器件结构至少共用一个测试端；以及共用测试端的互连线未处于回路中；以及
基于相应测试端，对互连线结构和/或有源器件结构进行测试。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述互连线结构中一根互连线只能与一个有源器件共用测试端。
10.如权利要求8所述的方法，其特征在于，一个有源器件与一根互连线共用测试端。
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