[发明专利]探测装置和检测方法

权利要求书

1.一种探测装置，在载置台上载置被检查基板、使探测卡的探测器与在该 被检查基板上排列的被检查芯片的电极垫接触、进行所述被检查芯片的电气检 测，所述探测装置的特征在于，包括：

第一工作台，其沿X方向可自由移动地设置在底座上；

第二工作台，其沿Y方向可自由移动地设置在该第一工作台上；

第三工作台，其沿Z方向可自由移动地设置在该第二工作台上，并具有所 述载置台；

拍摄单元，其用于拍摄所述载置台上的被检查基板和所述探测器；

Z位置计测单元，其用于测得所述载置台的Z方向的位置，并具有设置于 所述第二工作台和第三工作台的一方并沿Z方向延伸的Z标尺、和设置于所述 第二工作台和第三工作台的另一方并用于读取所述Z标尺的读取部；

计算单元，其对于包括通过用于计测所述载置台的X方向和Y方向的各位 置的单元测得的X方向和Y方向的各位置以及Z方向的位置的、在驱动系统的 坐标上被管理的坐标位置，根据所述拍摄单元的拍摄结果，通过演算求得被处 理基板的电极垫与探测器接触的计算上的接触位置；以及

在所述被处理基板的电极垫与探针接触的状态下，当使用所述Z位置计测 单元测得的所述载置台的Z方向的位置从已预先设定的计算上的接触位置变化 时，根据该变化量修正下次接触时的接触位置的Z方向的位置的单元。

2.如权利要求1所述的探测装置，其特征在于：

在所述第三工作台上具有加热单元，其用于加热在所述载置台上载置的所 述被检查基板。

3.如权利要求1或者2所述的探测装置，其特征在于：

计测所述载置台的X方向的位置的单元具有固定于所述底座的X方向的中 央部和所述第一工作台的X方向的中央部的一方并沿X方向延伸的X标尺，和 设置于所述底座和所述第一工作台的另一方并用于读取所述X标尺的读取部，

计测所述载置台的Y方向的位置的单元具有固定于所述第一工作台的Y方 向的中央部和所述第二工作台的Y方向的中央部的一方并沿Y方向延伸的Y标 尺、和设置于所述第一工作台和所述第二工作台的另一方并用于读取所述Y标 尺的读取部。

4.一种探测方法，在载置台上载置被检查基板，并使探测卡的探测器与在 被检查基板上排列的被检查芯片的电极垫接触，进行被检查芯片的电气检测， 所述探测方法特征在于，包括：

利用

第一工作台，其沿X方向可自由移动地设置在底座上；

第二工作台，其沿Y方向可自由移动地设置在该第一工作台上；

第三工作台，其沿Z方向可自由移动地设置在该第二工作台上，并具有所 述载置台；和

Z位置计测单元，其用于测得所述载置台的Z方向的位置，并具有设置于 所述第二工作台和所述第三工作台的一方并沿Z方向延伸的Z标尺、和设置于 所述第二工作台和所述第三工作台的另一方并用于读取所述Z标尺的读取部，

对于包括通过用于计测所述载置台的X方向和Y方向的各位置的单元测得 的X方向和Y方向的各位置和Z方向的位置的、在驱动系统的坐标上被管理的 坐标位置，根据拍摄所述载置台上的被检查基板和所述探测器的拍摄结果，通 过演算求得被处理基板的电极垫与探测器接触的计算上的接触位置的工序；以 及

在所述被处理基板的电极垫与探测器接触的状态下，当使用所述Z位置计 测单元测得的所述载置台的Z方向的位置从已预先设定的计算上的接触位置变 化时，根据该变化量修正下次接触时的接触位置的Z方向的位置的工序。