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[发明专利]晶片检查装置和探针卡的预热方法-CN201410119777.X有效
发明人：山田浩史;星野贵昭;小嶋伸时;三枝健;下山宽志 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-09-13 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明提供能够消减晶片检查装置的设置空间并且能够降低设置成本的晶片检查装置。本发明的晶片检查装置（10）具备：以一片一片地搬送晶片的方式在第一搬送区域（S2）设置的第一晶片搬送机构（12）；在第一搬送区域的端部的对准区域（S3）内，经由晶片保持体（15）通过第一晶片搬送机构（12）搬送的、在检查位置对准晶片（W）的对准机构（14）；在沿着第一搬送区域（S2）和对准区域（S3）的第二搬送区域（S4）内，经由晶片保持体（15）搬送晶片（W）的第二晶片搬送机构（16）；和排列在沿着第二搬送区域的检查区域（S5）并且对经由晶片保持体（15）通过第二晶片搬送机构（16）搬送的晶片（W）进行电气特性检查的多个检查室（17），在检查室（17）进行对准后的晶片的电气特性检查。
晶片检查装置探针预热方法

[发明专利]晶片检查装置和探针卡的预热方法-CN201110276545.1有效
发明人：山田浩史;星野贵昭;小嶋伸时;三枝健;下山宽志 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-09-13 - 公布日： 2012-05-09 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明提供能够消减晶片检查装置的设置空间并且能够降低设置成本的晶片检查装置。本发明的晶片检查装置(10)具备：以一片一片地搬送晶片的方式在第一搬送区域(S2)设置的第一晶片搬送机构(12)；在第一搬送区域的端部的对准区域(S3)内，经由晶片保持体(15)通过第一晶片搬送机构(12)搬送的、在检查位置对准晶片(W)的对准机构(14)；在沿着第一搬送区域(S2)和对准区域(S3)的第二搬送区域(S4)内，经由晶片保持体(15)搬送晶片(W)的第二晶片搬送机构(16)；和排列在沿着第二搬送区域的检查区域(S5)并且对经由晶片保持体(15)通过第二晶片搬送机构(16)搬送的晶片(W)进行电气特性检查的多个检查室(17)，在检查室(17)进行对准后的晶片的电气特性检查。
晶片检查装置探针预热方法

[发明专利]探测装置和检测方法-CN200910006019.6无效
发明人：矢野和哉;下山宽志;铃木胜 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2009-01-22 - 公布日： 2009-08-05 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明提供一种探测装置和检测方法，即使在检测中接触位置和实际接触位置之间产生误差也能够自动地修正该误差确保良好的接触精度，从而进行可靠性高的检测。第三工作台(23)固定第三线性标尺(E3)的基准尺(E31)，并在第三工作台(23)的非可动部固定扫描头(E32)，通过计测性能不发生变化的第三线性标尺(E3)计测第三工作台(23)的可动部的位置。因此，能够检测第三工作台(23)的接触位置的位移，并能够根据位移量修正Z轴方向的接触位置。由此，即使在检测中因热膨胀等而在接触位置产生误差，也能够自动地修正该误差，从而能够确保探测器(32)与晶片W的电极垫的良好的接触精度，提高电气检测的可靠性。
探测装置检测方法

[发明专利]载置装置-CN200710169926.3无效
发明人： 下山宽志;矢野和哉;铃木胜 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2007-11-08 - 公布日： 2008-08-06 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种通过实现载置装置的轻量化和高刚性化并且提高载置装置的重量的对称性，能够提高高速移动性和检查的可靠性的载置装置。本发明的载置装置(10)包括：载置半导体晶片的载置台；支承该载置台并且形成为直径比上述载置台小的筒状的升降体(11)；在该升降体(11)的外周面上，在圆周方向上相互隔开120°设置的三根升降导轨(12A)；和具有垂直壁(13A)的支承体(13)，该垂直壁(13A)上固定有与各升降导轨(12A)分别卡合的卡合体(12B)。
装置