[发明专利]离子注入方法及设备

权利要求书

1.一种离子注入方法，其利用带状离子束和在与离子束的主面交叉的方向上对基板的机械扫描将离子注入基板，其中在所述离子束中，在执行或者不执行X方向的电扫描的情况下，X方向上的尺寸都大于与X方向正交的Y方向上的尺寸，所述方法包括：

扫描速度计算步骤：将基板的扫描次数的初始值设置为1，并且通过利用离子束的束电流、到基板的剂量以及基板的扫描次数的初始值计算基板的扫描速度；

扫描速度确定步骤：确定基板的扫描速度是否处于预定的容许的扫描速度范围之内；如果扫描速度处于容许的扫描速度范围之内，则将当前的扫描次数和当前的扫描速度分别设置为实际的扫描次数和实际的扫描速度；如果扫描速度高于容许的扫描速度范围的上限，则中断获得实际的扫描次数和实际的扫描速度的处理；并且，如果扫描速度低于容许的扫描速度范围的下限，则以1递增扫描次数以计算校正的扫描次数；

校正的扫描速度计算步骤：当计算校正的扫描次数时，通过利用校正的扫描次数、束电流以及剂量计算校正的扫描速度；

重复步骤：当计算校正的扫描速度时，对校正的扫描速度执行所述扫描速度确定步骤的处理，并且重复所述扫描速度确定步骤和所述校正的扫描速度计算步骤直到校正的扫描速度处于容许的扫描速度范围之内；和

离子注入步骤：根据实际的扫描次数和实际的扫描速度将离子注入基板。

2.根据权利要求1所述的离子注入方法，

其中，扫描速度确定步骤包括下述扫描次数确定步骤：如果扫描速度处于容许的扫描速度范围之内，则确定当前的扫描次数是偶数还是奇数；如果当前的扫描次数是偶数，则将当前的扫描次数和当前的扫描速度分别设置为实际的扫描次数和实际的扫描速度；并且，如果当前的扫描次数是奇数，则以1递增扫描次数以计算校正的扫描次数，并且

其中，重复步骤重复所述扫描速度确定步骤和所述校正的扫描速度计算步骤直到校正的扫描速度处于容许的扫描速度范围之内并且校正的扫描次数变为偶数。

3.根据权利要求1所述的离子注入方法，其中，在所述扫描速度计算步骤中，将基板的扫描次数的初始值设置为2而不是1。

4.根据权利要求1所述的离子注入方法，其中，在所述扫描速度计算步骤中，将基板的扫描次数的初始值设置为2而不是1，并且，在所述扫描速度确定步骤中，以2而不是1递增扫描次数以计算校正的扫描次数。

5.一种离子注入设备，用于利用带状离子束和在与离子束的主面交叉的方向上对基板的机械扫描将离子注入基板，其中在所述离子束中，在执行或者不执行X方向的电扫描的情况下，X方向上的尺寸都大于与X方向正交的Y方向上的尺寸，所述设备包括：

控制装置，所述控制装置具有执行以下处理的功能：(a)扫描速度计算处理：将基板的扫描次数的初始值设置为1，并且通过利用离子束的束电流、到基板的剂量、以及基板的扫描次数的初始值计算基板的扫描速度；(b)扫描速度确定处理：确定基板的扫描速度是否处于预定的容许的扫描速度范围之内；如果扫描速度处于容许的扫描速度范围之内，则将当前的扫描次数和当前的扫描速度分别设置为实际的扫描次数和实际的扫描速度；如果扫描速度高于容许的扫描速度范围的上限，则中断获得实际的扫描次数和实际的扫描速度的处理；并且，如果扫描速度低于容许的扫描速度范围的下限，则以1递增扫描次数以计算校正的扫描次数；(c)校正的扫描速度计算处理：当计算校正的扫描次数时，通过利用校正的扫描次数、束电流以及剂量计算校正的扫描速度；(d)重复处理：当计算校正的扫描速度时，对校正的扫描速度执行所述扫描速度确定步骤的处理，并且重复所述扫描速度确定步骤和所述校正的扫描速度计算步骤直到校正的扫描速度处于容许的扫描速度范围之内；以及(e)离子注入处理：根据实际的扫描次数和实际的扫描速度将离子注入基板。

6.根据权利要求5所述的离子注入设备，

其中，执行(b)扫描速度确定处理的功能包括下述扫描次数确定处理：如果扫描速度处于容许的扫描速度范围之内，则确定当前的扫描次数是偶数还是奇数；如果当前的扫描次数是偶数，则将当前的扫描次数和当前的扫描速度分别设置为实际的扫描次数和实际的扫描速度；并且，如果当前的扫描次数是奇数，则以1递增扫描次数以计算校正的扫描次数，并且

其中，执行(d)重复处理的功能重复所述扫描速度确定步骤和所述校正的扫描速度计算步骤直到校正的扫描速度处于容许的扫描速度范围之内并且校正的扫描次数变为偶数。