[发明专利]振动片的制造方法和振子的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。

背景技术

以往，公知有为了调整在振荡器等中所使用的振动片的振动频率，利用激光束去除振动臂的一部分金属膜的技术(专利文献1)。具体而言，通过去除一部分金属膜，来减轻其重量，从而调整振动频率。但是，利用重量进行调整的调整量较小，因此调整范围受到限制。

专利文献1：日本特开2002-252546号公报

发明内容

本发明的目的在于扩大振动频率的调整范围。

本发明就是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，可以通过以下的方式或者应用例来实现。

【应用例1】本应用例所述的振动片的制造方法包括如下工序：准备支撑体的工序，该支撑体具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面，并包括基部和从所述基部并排延伸且与所述厚度方向正交的多个臂部，在所述多个臂部各自的所述第一表面上形成有下部电极膜，在所述下部电极膜上形成有压电膜，在所述压电膜上形成有上部电极膜，所述多个臂部各自的至少一部分具有使所述第二表面露出的露出区域；以及对所述第二表面的所述露出区域进行蚀刻的工序，通过所述蚀刻来降低所述厚度，从而降低所述多个臂部的在所述厚度方向上的弯曲刚性。根据本应用例，通过调整臂部的厚度来调整弯曲刚性，从而能够调整振动频率。由于利用臂部厚度调整频率比利用重量进行调整的调整量大，所以能够扩大振动频率的调整范围。

【应用例2】本应用例所述的振动片的制造方法的特征在于，在进行所述蚀刻之前，在所述多个臂部的所述第二表面上形成有加重金属膜，在对所述露出区域进行蚀刻的工序中，对所述加重金属膜的表面也进行蚀刻。

【应用例3】本应用例所述的振动片的制造方法包括如下工序：准备支撑体的工序，该支撑体具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面，并包括基部和从所述基部并排延伸且与所述厚度方向正交的多个臂部，在所述多个臂部各自的所述第一表面上形成有下部电极膜，在所述下部电极膜上形成有压电膜，在所述压电膜上形成有上部电极膜，所述多个臂部各自的至少一部分具有使所述第二表面露出的露出区域；以及在所述第二表面的所述露出区域形成增强金属膜的工序，利用所述增强金属膜来提高所述多个臂部的在所述厚度方向上的弯曲刚性。根据本应用例，通过调整臂部的厚度来调整弯曲刚性，从而能够调整振动频率，由于利用臂部厚度调整频率比利用重量进行调整的调整量大，所以能够扩大振动频率的调整范围。

【应用例4】本应用例所述的振动片的制造方法的特征在于，所述支撑体由压电材料构成。

【应用例5】本应用例所述的振子的制造方法包括如下工序：准备支撑体的工序，该支撑体具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面，并包括基部和从所述基部并排延伸且与所述厚度方向正交的多个臂部，在所述多个臂部各自的所述第一表面上形成有下部电极膜，在所述下部电极膜上形成有压电膜，在所述压电膜上形成有上部电极膜，所述多个臂部各自的至少一部分具有使所述第二表面露出的露出区域；对所述第二表面的所述露出区域进行蚀刻，通过所述蚀刻来降低所述厚度，从而降低所述多个臂部的在所述厚度方向上的弯曲刚性的工序；所述振动片收纳在封装件的内部的工序；以及用盖封闭所述封装件的开口的工序。

【应用例6】本应用例所述的振子的制造方法包括如下工序：准备支撑体的工序，该支撑体具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面，并包括基部和从所述基部并排延伸且与所述厚度方向正交的多个臂部，在所述多个臂部各自的所述第一表面上形成有下部电极膜，在所述下部电极膜上形成有压电膜，在所述压电膜上形成有上部电极膜，在所述多个臂部各自的至少一部分上具有使所述第二表面露出的露出区域；在所述第二表面的所述露出区域形成增强金属膜，利用所述增强金属膜来提高所述多个臂部的关于所述厚度方向的弯曲刚性的工序；将所述振动片收纳在封装件的内部的工序；以及用盖封闭所述封装件的开口的工序。

附图说明

图1(A)～图1(C)是说明本发明的第一实施方式所述的振动片的制造方法的图。

图2是说明本发明的第一实施方式所述的振动片的制造方法的图。

图3是说明本发明的第一实施方式所述的振动片的制造方法的图。

图4是说明本发明的第一实施方式所述的振子的制造方法的图。

图5是说明利用本发明的第一实施方式所述的制造方法制造出的振子的动作的图。

图6是说明本发明的第一实施方式所述的振动片的制造方法的第一变形例的图。

图7是说明本发明的第一实施方式所述的振动片的制造方法的第二变形例的图。