[发明专利]有机电致发光元件、有机电致发光元件制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及有机电致发光(有机EL)元件的技术领域，特别是涉及在电荷注入层的表面形成电极层的技术。

背景技术

以往，作为这种有机电致发光元件，众所周知如图9的符号201那样的结构。

在该有机电致发光元件201中，基板202上，依次形成布线层203、空穴注入层204、空穴输送层208、发光层209、电子输送层210、电子注入层206、和电极层207。

第一有机层205由空穴输送层208、发光层209和电子输送层210构成。

在第一有机层205中，与电子注入层206接触的一侧是电子输送层210，是以具有电子输送性的有机材料为主成分的薄膜。

电子注入层206是由具有电子注入性的金属材料构成的薄膜，例如，使用锂等碱金属元素或碱土类金属元素的单体或化合物。

该有机EL元件201，通过蒸镀法，在第一有机层205表面形成电子注入层206，且通过蒸镀法，在电子注入层206表面形成电极层207。

在电极层207的蒸镀法中，由于成膜时的热负荷而出现掩模变形等问题，难以进行基板的大型化。因此，尝试通过溅镀法形成电极层207。

但是用溅镀法形成电极层207的场合，已知发光效率跟不上，有待于解决。

另外，在图15的有机EL元件301中，基板302上层叠了布线层303、第一发光部320、电极层311、第二发光部321、和电极层304。

第一、第二发光部320、321具有第一、第二有机层305、306，在第一、第二有机层305、306的基板302一侧的表面上分别配置了第一、第二空穴注入层307、308，在相反侧的表面上分别配置了第一、第二电子注入层309、310。

电极层311分开不同极性的第一电子注入层309与第二空穴注入层308，并使第一电子注入层309与第二空穴注入层308电连接。

当布线层303与电极层304之间施加电压时，接触于布线层303之第一空穴注入层307与连接于电极层311的第一电子注入层309之间，以及接触于电极层304的第二电子注入层310与连接于电极层311的第二空穴注入层308之间被施加电压，空穴从第一、第二空穴注入层307、308注入到第一、第二有机层305、306，电子从第一、第二电子注入层309，310注入到第一、第二有机层305、306。所注入的空穴和电子在第一、第二有机层305、306内分别再耦合并发光。

在此，基板302透明，基板302上的布线层303、第二有机层306、以及它们之间的各层307、305、309、311、308也透明，在第一有机层305发射的光，从第一有机层305透过第一空穴注入层307和布线层303而向基板302外部发射。在第二有机层306发射的光，从第二有机层306透过基板302之间的各层308、311、309、305、307而向基板302的外部发射。来自第二有机层306的光与来自第一有机层305的光，向同侧发射，在有机EL元件301外侧的基板302一侧的位置上，观察到两光合而为一的较强的发射光。

作为在第一电子注入层309表面形成由诸如电极层311的金属构成的薄膜的方法，有溅镀法。

第一电子注入层309是由具有电子注入性的金属化合物构成的薄膜，第一有机层305是由有机化合物的薄膜构成，将金属标靶溅镀，从而将由金属构成的电极层311形成在有机化合物的薄膜即第一电子注入层309表面上时，了解到发光效率比蒸镀法成膜时降低。

基于这种理由，在第一电子注入层309表面形成电极层311时，使用蒸镀法。

但是，蒸镀法有着成膜速度缓慢等问题，因而寻求维持不逊于蒸镀法的发光效率的同时，可以用溅镀法形成电极层311的技术。

专利文献1：日本特开2004-79538号公报

专利文献2：日本特开2006-302506号公报

专利文献3：日本特开2005-26003号公报

专利文献4：日本特开2004-164992号公报

发明内容

本发明是为了解决上述传统技术问题创作而成，其目的为提供即使通过溅镀法在第二电荷注入层表面形成电极层也不会降低发光效率的技术。

为了解决上述课题而做研究后，认为发光效率跟不上的原因是在传统有机EL元件中，第二电荷注入层与第一有机层界面因材料组成变化急剧而在受溅镀粒子入射之影响的情况下，比形成电极层之前，界面状态混乱，导致电荷从第二电荷注入层至第一有机层的注入效率下降。