[发明专利]分光模块

说明书

技术领域

本发明涉及对光进行分光并进行检测的分光模块。

背景技术

现有的分光模块，已知有一种分光模块，其具备双凸透镜，即块 状的支撑体，并且在支撑体的一个凸面上设有衍射光栅等的分光部， 在支撑体另一个凸面侧上，设有光电二极管等的光检测元件(例如， 参照专利文献1)。在这种分光模块中，从另一凸面侧入射的光在分光 部被分光，分光后的光在光检测元件被检测。

专利文献1：日本特开平第4-294223号公报

发明内容

然而，上述的分光模块中，当将入射狭缝部及二极管安装于支撑 体时，入射狭缝部和二极管的相对的位置关系发生偏移，分光模块的 可靠性有可能下降。

因此，本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提供一种 可靠性高的分光模块。

为了达到上述目的，本发明的分光模块的特征在于，具备：使从 一个面入射的光透过的基板、设在基板的另一个面上并使入射于基板 的光透过的透镜部、形成于透镜部并对入射于透镜部的光进行分光的 分光部、以及设在一个面上并检测被分光部分光后的光的光检测元件， 分光部具有衍射部、反射部、以及与衍射部一体地形成的缘部；在缘 部以与一个面和另一个面中的至少一个面大致平行的方式形成有设有 对准标记的平面。

该分光模块中，通过对预先对准并安装有光检测元件的基板安装 预先形成有分光部的透镜部，从而进行光检测元件和衍射部的对准， 由于在与衍射部一体地形成的缘部的平面形成对准标记，因而在将透 镜部安装于基板上时，通过相对于基板对该对准标记进行对位，或者 相对于光检测元件直接进行对位，从而能够相对于光检测元件正确地 对准衍射部，不受例如透镜部的曲率半径的误差等的影响。尤其是， 由于对准标记形成于与基板的面大致平行的平面，因而能够通过图像 识别来正确地检测该对准标记的位置，于是能够进行正确的对准。所 以，依照该分光模块，能够提高可靠性。

本发明的分光模块中，优选对准标记与衍射部一体地形成。这种 情况下，能够提高对准标记和衍射部的位置精度，于是，能够相对于 光检测元件进一步正确地对准衍射部。

本发明的分光模块中，优选对准标记以夹着衍射部的方式，沿着 该衍射部的沟槽的排列方向至少形成一对。这种情况下，通过进行对 准标记的对位，能够正确地进行衍射部的沟槽的排列方向的对位，于 是，能够使被分光部分光后的光切实地朝向光检测元件。

本发明的分光模块中，优选光检测元件具有使向分光部行进的光 通过的光通过孔。这种情况下，在组装时，由于能够省略对准光检测 元件和光通过孔的步骤，因而能够容易地进行组装作业。

依照本发明，能够提高可靠性。

附图说明

图1是本发明的实施方式的分光模块的平面图。

图2是沿着图1所示的II-II线的截面图。

图3是显示透镜部的立体图。

图4是显示透镜部的顶部和分光部的放大截面图。

图5是从基板的后面侧看分光部的放大图。

图6是设在分光部的周缘部的对准标记的放大图。

图7是用于说明在透镜部形成分光部的制造工艺的图。

图8是用于说明在基板安装透镜部的工艺的图。

符号说明

1：分光模块；2：基板；2a：前面(一个面)；2b：后面(另一个 面)；3：分光部；4：光检测元件；4b：光通过孔；7：透镜部；8：衍 射层(衍射部)；11：周缘部(缘部)；11a：平面；12a、12b、12c、12d： 对准标记。

具体实施方式

以下，参照附图，详细地说明本发明的优选实施方式。另外，在 各图中，对于同一或相当的部分赋予相同的符号，省略重复的说明。

如图1、2所示，分光模块1具备：使从前面(一个面)2a入射的 光透过的基板2、设在基板2的后面(另一个面)2b上的透镜部7、形 成于透镜部7并对入射于透镜部7的光L1进行分光的分光部3、以及 检测被分光部3分光后的光L2的光检测元件4。分光模块1通过在分 光部3将光L1分光为多个光L2，并在光检测元件4检测光L2，从而 测量光L1的波长分布和特定波长成分的强度等。

基板2由BK7、派热克斯(注册商标)、石英等的光透过性玻璃、 光透过性树脂等形成为长方形板状。