[发明专利]分光模块

权利要求书

1.一种分光模块，其特征在于，

具备：

使从一个面入射的光透过的基板、

设在所述基板的另一个面上并使入射于所述基板的光透过的透镜 部、

形成于所述透镜部并对入射于所述透镜部的光进行分光的分光 部、以及

设在所述一个面上并检测被所述分光部分光后的光的光检测元 件，

所述分光部是反射型光栅，具有形成于曲面形状的所述透镜部的 外侧表面的并列设置有多个沟槽的衍射层、形成于所述衍射层的外侧 表面的反射层、以及形成于所述衍射层的周缘的与所述衍射层一体地 形成的周缘部，

在所述周缘部以与所述一个面和所述另一个面中的至少一个面大 致平行的方式形成有设有对准标记的平面。

2.如权利要求1所述的分光模块，其特征在于，

所述对准标记与所述衍射部一体地形成。

3.如权利要求1所述的分光模块，其特征在于，

所述对准标记以夹着所述衍射部的方式，沿着该衍射部的沟槽的 排列方向至少形成一对。

4.如权利要求1所述的分光模块，其特征在于，

所述光检测元件具有使向所述分光部行进的光通过的光通过孔。